MTI  |  SKU: FmAlNonSiBc101D05C1FT500nmUS

Templato AlN su 4" di silicio (Si <111>tipo P, drogato B) 4 "x 500 nm - FmAlNonSiBc101D05C1FT500nmUS

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Templato AlN su 4" di silicio (Si <111>tipo P, drogato B) 4 "x 500 nm - FmAlNonSiBc101D05C1FT500nmUS

MTI

Il modello AlN su silicio è realizzato da un PVDNC metodo PVDNC. Il template di AlN su silicio è un modo economico per sostituire il substrato di cristallo singolo di AlN.

Specifiche tecniche

  • Uarea utile: 90%
  • Spessore nominale dell'AlN: 500nm ±10%, film di AlN non drogato rivestito su un lato
  • Superficie anteriore: come-incorporata
  • Superficie posteriore: silicio come ricevuto
  • Orientamento AlN: Piano C (00.1)
  • Densità dei macrodifetti: <10/cm^2
  • Base del wafer: Silicio [111] tipo P, diametro 4" x0,5 mm, un lato lucidato, R<5 ohm.cm

     

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