MTI  |  SKU: GSL2Z

Sistema di controllo gas a 2-9 canali con touch panel PLC e software operativo per PC - GSL-LCD

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Sistema di controllo gas a 2-9 canali con touch panel PLC e software operativo per PC - GSL-LCD

MTI

La stazione di miscelazione gas EQ-GSL-LCD è progettata per il controllo di 1-9 tipi di gas che fluiscono attraverso forni a tubi sigillati sottovuoto a un costo contenuto. È installata in un carrello mobile per impieghi gravosi, dove il forno a tubi può essere posizionato sulla parte superiore. Il touch screen LCD è integrato per fornire un facile controllo della portata di gas di ciascun canale indipendente. Questo sistema è adatto all'uso con forni CVD per studiare l'influenza ambientale del gas su vari materiali.

SPECIFICHE

Funzione

Due canali

Tre canali

Quattro canali

Personalizzato da quattro a nove canali

Computerizzato 
Controllore di flusso di massa

Nota: su richiesta, è possibile personalizzare altre gamme di MFC con un costo aggiuntivo.
Gamma di controllo:
  • Controllore 1: 1~199 SCCM
  • Controllore 2: 1~499 SCCM
Intervallo di controllo:
  • Controllore 1: 0~100 SCCM
  • Controllore 2: 1~199 SCCM 
  • Controllore 3: 1~499 SCCM 
Intervallo di controllo:
  • Controllore 1: 0~100 SCCM
  • Controllore 2: 1~199 SCCM
  • Controllore 3: 1~199 SCCM
  • Controllore 4: 1~499 SCCM
Selezionare l'intervallo di seguito riportato per creare un sistema personalizzato da 4 a 9 canali:
  • 0~100 SCCM
  • 1~200 SCCM
  • 1~500 SCCM
  • 1~1000 SCCM
  • 1~2000 SCCM
  • 1~5000 SCCM
Precisione, linearità e ripetibilità Precisione: ±1,5%FS
Linearità: ±1%FS
Ripetibilità: ±0,2%FS
Temperatura e pressione di lavoro Temperatura di lavoro: 5~45 ºC
Pressione massima Pressione: 3x10Pa 

Tensione di lavoro

AC 110 - 240V Monofase 50/60Hz

Potenza

23W


PLC Touch Screen

  • Pannello di controllo touch screen a colori da 6" per facilitare l'impostazione dei parametri.
  • Controllo touchscreen e PC remoto commutabile, la porta RS485 e il software in dotazione sono inclusi per il funzionamento a distanza tramite PC, per ora non compatibile con LabVIEW. 
Manometro meccanico Misura Campo di misura: -0,1~0,15 MPa 
Valvola ad ago Acciaio inossidabile 316
Conduttura del gas
  • Un serbatoio di miscelazione del gas in acciaio inox è incorporato
  • Tubazione interna: 1/4" O.D in acciaio inox e 1/4" O.D in PTFE
  • Tubazione esterna: 1/4" O.D PTFE
Serbatoio di miscelazione del gas ?80X120 mm

Valvola di arresto e raccordi
Valvola a spillo in acciaio inox 316, 
?Raccordo per tubo Swagelok da 1/4
Dimensioni 600 mm (L) x 855 mm (L) x 700 mm (H)
Conformità
  • Tutti i componenti sono certificati CE
  • L'unità può ottenere la certificazione TUV (UL61010) o CSA a un costo aggiuntivo.
Garanzia
Un anno limitato con assistenza a vita
Monitoraggio dell'ossigeno
  • Un sensore di ossigeno opzionale può essere utilizzato per monitorare il livello di ossigeno dei gas utilizzati nei sistemi CVD per prevenire o ridurre l'ossidazione. Per saperne di più, fare clic sull'immagine sottostante:
Nota applicativa
  • Attendere 15 minuti per riscaldare il miscelatore di gas e avviare la carica del gas.
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