MTI  |  SKU: VTF-1600X-TSSG

Forno di crescita in soluzione con seme superiore (TSSG) a 2200 ºC - VTF-2200X-TSSG

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Forno di crescita in soluzione con seme superiore (TSSG) a 2200 ºC - VTF-2200X-TSSG

MTI

Il VTF-2200X-TSSG è un forno TSSG (Top Seed Solution Growth) ad altissima temperatura per la crescita di SiC o Zaffiro tramite soluzione di flusso a 2000 gradi. Il forno è riscaldato da una bobina a induzione con un crogiolo di grafite del diametro di 4" e una camera di quarzo ermetica del diametro di 8". La temperatura è rilevata da una termocoppia di tipo C e controllata da un termoregolatore della serie Eurotherm 3000. È inoltre dotato di un dispositivo di estrazione di precisione con una velocità di estrazione minima di 0,6 mm/ora e una velocità di rotazione minima di 0,1 giri/min. Può funzionare sotto vuoto, in flusso di gas inerte o in ambiente riducente. 

Potenza
  • 208 - 240VAC, tre fasi, 50/60Hz
  • 17 kW Max. È necessario un pannello di alimentazione da 60 A. 
  • Sono inclusi 10 piedi di cavo di alimentazione 6/4 AWG approvato UL. 
  • La spina di alimentazione non è inclusa. Spine compatibili sono disponibili qui. 
                
Sistema di riscaldamento a induzione
 
  • Potenza massima in ingresso: 15 KW
  • Frequenza di uscita: 20 - 100 kHz 
  • Ciclo di funzionamento: 100%.
  • Bobina di induzione: 220 mm (ID) x 65 mm (H) 
  • Raffreddamento: Acqua
  • Modalità di controllo: PID o manuale
  • Protezione: interblocco del flusso d'acqua, protezione da sovratemperatura e sovralimentazione
Camera di riscaldamento


  • Tubo di quarzo: 216 mm (OD) x 206 mm (ID) x 500 mm (H)
  • Flangia superiore: Flangia speciale con un'uscita del gas e un dispositivo di estrazione. 
  • Flangia inferiore: Flangia speciale con uscita del gas, porta del vuoto KF25 e passaggio per termocoppia da 1/8". 
  • Porta per il vuoto: Porta KF25 con valvola. 
  • Livello di vuoto massimo: 10-5 torr tramite turbopompa.
Crogiolo e isolamento termico

  • Un crogiolo di grafite ad alta purezza con coperchio: Ø114 OD x Ø100 ID x 142 H (mm)
  • Capacità massima effettiva: 750 ml (la massa fusa deve essere inferiore ai 2/3 del volume massimo).
  • Strato di isolamento termico: Feltro di grafite a tre strati di 45 mm di spessore
  • Nota: il feltro di grafite e il crogiolo sono consumabili. Sono disponibili pezzi di ricambio. 
  • Rotazione del crogiolo (opzionale): il crogiolo di grafite può essere ruotato a 0,1 - 23 giri/min per una migliore uniformità della temperatura. 

Controllo della temperatura

  • Regolatore di temperatura Controllore Serie Eurotherm 3000 con precisione di +/- 0,1 °C
                                                              con 28 segmenti programmabili. 
  • Velocità di riscaldamento: 0~60ºC / min (suggerimento a =< 5ºC)
  • Temperatura di lavoro: 2000°C continui (2200ºC meno di 1 ora)
  • Termocoppia: Termocoppia di tipo C da 1/8" posizionata sul fondo della superficie di grafite.  

Dispositivo di trazione e rotazione

  • Il dispositivo di estrazione è compatibile con il soffietto SS ad alto vuoto. 
  • Asta di trazione: Asta SS da 28 mm raffreddata ad acqua
      Asta in YSZ o allumina disponibile su richiesta.
  • Velocità di estrazione: 0,8 - 50 mm/h (su richiesta sono disponibili velocità più basse, fino a 0,06 mm/h)
  • Velocità di trazione veloce: 40 mm/min
  • Distanza massima di traslazione: 300 mm
  • Velocità di rotazione: 0,1 - 23 giri/min (su richiesta sono disponibili velocità inferiori fino a 0,03 giri/min)          
  • Refrigeratore d'acqua a ricircolo opzionale per il raffreddamento dell'asta di semina:
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Pannello di controllo

  • Pannello di controllo touch screen da 7" per la programmazione di tutti i parametri
    • Programmi di temperatura
    • Velocità di rotazione dell'asta del seme
    • Velocità di estrazione
    • Memorizza fino a 5 ricette.

Pompa a vuoto


Pompa per vuoto e stazione per alto vuoto
  • Una pompa a vuoto o una stazione di pompaggio sono consigliate ma non incluse. 
  • Livello di vuoto: 10-2 torr tramite una pompa meccanica 
  •   10-5 torr con una turbopompa

Refrigeratore d'acqua

Dimensioni

1173L×1190W×2070H (mm)

Peso

200 kg

Garanzia

  • Garanzia limitata di un anno (Le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli o-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare i ricambi nei prodotti correlati qui sotto).

Conformità

  • Certificazione CE
  • La certificazione NRTL (UL61010) o CSA è disponibile a pagamento. 

Video del funzionamento