Forno tubolare al quarzo a tre zone (diametro 80 mm, 1200 C max) con miscelatore di gas a 3 canali, pompa del vuoto e vacuometro anticorrosivo - OTF-1200X-III-80-F3LV

• Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria
• Isolamento in fibra di allumina di elevata purezza per il massimo risparmio energetico
• Coperchio divisibile per una facile sostituzione del tubo

Consumo di energia

5 KW

Tensione d'ingresso

AC 208-240V monofase, 50 o 60 Hz 

Temperatura massima

1200 ^oC

Temperatura continua

1100 ^oC

Velocità di riscaldamento massima

<= 20 ^oC /min

Lunghezza della zona di riscaldamento

• Tre zone: (880 mm, 35" in totale)
• Zona 1: 220 mm (8,6" )
• Zona 2: 440 mm (17,3")
• Zona 3: 220 mm (8,6")

Zona a temperatura costante

• Se tre zone sono impostate alla stessa temperatura, la zona a temperatura costante è lunga 25" (625 mm) con una discrepanza di temperatura di +/- 1^oC.
• Se si utilizza una sola zona (zona centrale), la zona a temperatura costante ha una lunghezza di 110 mm (4,3") con una discrepanza di temperatura di +/- 1^oC.

Temperatura Precisione

+/- 1^oC

Elementi di riscaldamento

Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo

Regolatore di temperatura

• Tre regolatori di temperatura di precisione per controllare tre zone separatamente.
• Controllo automatico PID con 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, raffreddamento e tempo di permanenza.
• Protezione integrata contro il surriscaldamento e la rottura della termocoppia.
• La protezione da sovratemperatura e l'allarme consentono il funzionamento senza personale di assistenza.
• Precisione della temperatura di +/- 1 ºC.
• Porta di comunicazione RS485.
  
• Opzionale:  
• Il forno può essere gestito tramite PC installando tre moduli di controllo. Ordinare il modulo Moduli di controllo MTS-02 con un costo aggiuntivo. 
• La nuova versione del modulo PC è ora compatibile con Lab View 05/08/2014
• Se ordinate il modulo di controllo PC insieme al forno, vi forniremo installare e testarlo prima della spedizione. Vi consigliamo di ordinare un computer portatile da noi per evitare problemi di installazione del software. Per ulteriori informazioni fare clic qui.

• Tubo di quarzo fuso da 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1400 mm incluso.
• Sono incluse flange per il vuoto con valvole e manometri. 
• Il blocco termico deve essere posizionato all'interno del tubo come nel disegno seguente 
•    clicca qui per scegliere il crogiolo   

• Diaframma capacitivo resistente alla corrosione con testa del sensore rivestita in ceramica, appositamente progettato per le misure del vuoto in presenza di gas corrosivi.
• Il misuratore viene installato sulla flangia del vuoto (lato destro) del forno a tubi e fornisce un ampio intervallo di misura (10^^-5 ~ 1000 torr).
• Opzionale:   cliccare sull'immagine in basso a destra per ordinare il Modulo di controllo della temperatura costante.
  
  

• La slitta per il trasferimento del campione (azionata manualmente) è disponibile come opzione al costo aggiuntivo di 1900 dollari (vedere le immagini sotto).
  Fare clic qui per ordinare la barca al quarzo da 3" per la ricottura di wafer da 3". 

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• Due flange in acciaio inox con manometro e valvole incluse.
• La pressione minima del vuoto raggiunta dalla pompa meccanica è di 5,5 m-torr. ( 5.5x10^^-3 torr). La pressione può raggiungere 10^-5 torr utilizzando una pompa meccanica + molecolare.
• Il tasso di perdita è < 5 m-torr / min. e la pressione stabile del vuoto dopo 24 ore è < 2 torr.
• Fare clic sull'immagine sottostante per ottenere un grafico dettagliato e i dati misurati dal vacuometro certificato CE:        

(Per la visualizzazione di una curva di 24 ore, il segmento di tempo attraverso 08:00:00~21:10:00 nell'asse X viene superato nel grafico, quindi, la varietà ripida in là)

Monitoraggio dell'ossigeno

Un sensore di ossigeno può essere utilizzato per monitorare il livello di ossigeno dei gas utilizzati nei sistemi CVD per prevenire o ridurre l'ossidazione. Per saperne di più, fare clic sull'immagine sottostante:
         

Pompa per vuoto

• Pompa per vuoto rotativa a palette da 120 L/m è inclusa con una pressione massima di vuoto di 10^-2torr. È incluso un tubo flessibile in acciaio inox per il collegamento al forno a tubi.
  
• Opzione: Per un controllo preciso della pressione del vuoto, vi consigliamo di scegliere la nostra soluzione "chiavi in mano". EQ-VPC-MV. Si tratta di un sistema di regolazione della pressione del vuoto con valvola motorizzata e manometro. Controlla un intervallo di pressione compreso tra 10^-6 torr e 760 torr.

• Tre misuratori di portata di gas (precisione 4% FS) sono installati all'interno della cassa mobile per consentire il monitoraggio delle portate di gas (tre diversi tipi di gas in totale).
•  Misuratore di portata compatto a lettura diretta, 10-100 cc/min.
•  Misuratore di portata compatto a lettura diretta, 16-160 cc/min.
•  Misuratore di portata compatto a lettura diretta, 25-250 cc/min.
• Quattro misuratori di pressione sono installati all'interno del carrello mobile, in grado di monitorare tre tipi di pressione del gas in entrata e la pressione del serbatoio di miscelazione.

Dimensioni

• Forno: 1100 X 450 x 670 mm
• Cassa mobile inferiore: 600x600x597 mm

Peso di spedizione

 850 libbre

Dimensioni di spedizione

Totale tre pallet
#n. 1: 60" x 45" x 40".
#2: 48" x 40" x 42"
#3: 48" x 40" x 42"

Garanzia

Garanzia limitata di un anno del produttore (le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati indicati di seguito).