MTI  |  SKU: OTF-1200X-II-ZL

Forno a doppia zona a tubi divisi a 1200 C con sistema di alimentazione dei campioni fino a 4 crogioli per HPCVD - OTF-1200X-II-ZL

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Forno a doppia zona a tubi divisi a 1200 C con sistema di alimentazione dei campioni fino a 4 crogioli per HPCVD - OTF-1200X-II-ZL

MTI

OTF-1200X-II-ZL è un sistema di deposizione ibrido PVD e CVD (HPCVD) con quattro sorgenti di evaporazione per la preparazione di materiali multistrato. 2D multistrato fino a 1200oC. Il sistema è composto da un tubo diviso in due zone con un sistema di alimentazione del campione rotante che può spingere il crogiolo in un tubo di lavorazione alla temperatura desiderata nelle diverse posizioni della zona di riscaldamento. Il sistema di alimentazione girevole è in grado di spingere e tirare un crogiolo con materiale di evaporazione attraverso il forno a tubi controllato dall'atmosfera e in sequenza evaporare il materiale uno alla volta fino fino a quattro crogioli come da programma.  Il touchscreen PLC integrato consente agli utenti di gestire il metodo di alimentazione e di monitorare la temperatura di ciascun campione. Due regolatori di temperatura PID programmabili a 30 segmenti assicurano un controllo eccellente senza sovratemperatura. 

SPECIFICHE:
Struttura del forno
   
  • Due regolatori di temperatura indipendenti per controllare la temperatura di ciascuna zona.
  • L'involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria mantiene la temperatura superficiale del forno inferiore a 60°C.  
  • Isolamento in allumina fibrosa di elevata purezza per il massimo risparmio energetico.
  • Lo speciale rivestimento refrattario sul liner e sull'elemento riscaldante contribuisce ad aumentare la durata del forno.
  • Coperchio diviso con Protezione interblocco, interrompe l'alimentazione se la porta si apre durante il processo di riscaldamento del forno.       
Requisiti di potenza
  • Monofase 208~240VAC, 3KW (è necessario un interruttore automatico da 20Amp)
Lunghezza della zona di riscaldamento
  • Due zone: la lunghezza di ciascuna zona è 8" (200 mm)
  • Totale 16" (400 mm) di zona di riscaldamento
Zona a temperatura costante Zona a temperatura costante
  • 150 mm (+/-1°C) per ogni zona di riscaldamento
  • È possibile creare una zona a temperatura costante più lunga (circa 250 mm) impostando entrambe le zone alla stessa temperatura. 
  • Cliccare sull'immagine a sinistra per vedere il profilo dettagliato dell'uniformità di temperatura a 800°C           
Intervallo di temperatura 100~1100°C (continuo); 1200°C (<1 ora) 
Velocità di riscaldamento max. Velocità di riscaldamento ? 20°C /min
Sistema di alimentazione rotante
  • Una termocoppia si collega al crogiolo dalla flangia sinistra (Fig. 1). Il motore passo-passo fa viaggiare il crogiolo attraverso il tubo insieme alla termocoppia per il monitoraggio della temperatura in tempo reale.
  • Nel sistema di alimentazione rotante è possibile inserire contemporaneamente quattro crogioli e in sequenza nel tubo di quarzo sotto vuoto o gas inerte, uno alla volta (Fig. 2, 3 e 4).
  •    Figura 1      Fig.2       Fig.3      Immagine.4                           
Controllo del movimento del crogiolo
  • La velocità e la distanza di spostamento del crogiolo sono controllate da un motore passo-passo.
  • Distanza di spostamento del crogiolo: 1 mm ~ 200 mm
  •                  
Regolatori di temperatura
       
  • Due regolatori digitali con 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, della velocità di raffreddamento e del tempo di permanenza.
  • Funzione PID Auto-Tune integrata con protezione da surriscaldamento e termocoppia rotta.
  • La protezione da sovratemperatura e l'allarme consentono il funzionamento senza operatore.
  • Precisione della temperatura di +/- 1ºC.
  • Due termocoppie di tipo K (una per ogni zona).
  • Porta di comunicazione RS485.
  • Opzionale:  
    • Il forno può essere gestito da un PC con una porta di comunicazione MTS02-Y Pacchetto software di controllo della temperatura (include 2 chip di comunicazione e un laptop da 15"). 
    • I regolatori Eurotherm 3000 sono disponibili con +/- 0,1ºC con un costo aggiuntivo. 
Accessori per tubi
  • Uno tubo di quarzo fuso (60 mm O.D. x 54 mm I.D. x 1000mm L) è incluso.
  • Sono inclusi quattro crogioli di quarzo per l'evaporazione.
Misuratore di vuoto digitale
Manometri a vuoto
Pompa per vuoto
Sistema di controllo del flusso di gas
Refrigeratore d'acqua
Dimensioni

    2400 mm (L) x 600 mm (L) x 1300 mm (H) 
Garanzia Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita. (Le parti di consumo, come i tubi di lavorazione e gli o-ring, non sono coperte dalla garanzia; si prega di trovare le parti di ricambio nei prodotti correlati qui sotto).
Computer portatile, software e controllo WiFi (opzionale)
  • Laptop nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita) 
  • Sistema di controllo della temperatura basato su Labview (EQ-MTS01) consente agli utenti di modificare i profili di temperatura, gestire le ricette di trattamento termico, registrare e tracciare i dati per i forni MTI.
  • Il telecomando wireless offre un raggio d'azione fino a 300 metri.
  • Le funzioni di cui sopra sono disponibili su richiesta con un costo aggiuntivo (fino a 1.000 dollari). 
    • Conformità
    • Certificazione CE
    • Certificazione NRTL o CSA a pagamento. (fare clic sui marchi sottostanti per conoscere i dettagli)
                          
    Note applicative

      
    Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas.
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