Templato AlN non drogato su zaffiro(0001) 10x10mmx5000nm

Il template di AlN su zaffiro è realizzato con un metodo basato sulla deposizione da vapore di plasma di nano-colonne (PVDNC). Il template di AlN è un modo economico per sostituire il substrato di cristallo singolo di AlN.

Specifiche tecniche

• Dimensioni 10mmx10mm
•  Substrato Zaffiro Orientamento: asse c (0001) +/- 1,0 deg.
• Tipo e drogaggio del film di AlN: Non drogato, semi-isolante
• Densità dei macrodifetti: <5 cm^-2
• Front Surface Finish (Al Face): As-grown
  
• Back Surface Finish Sapphire as-received finish
•  Useable Surface Area >90% 
•  Area di esclusione dei bordi 1 mm
•   Pacchetto Contenitore a singolo wafer
• AlSpessore strato N 5000 nm +/- 5%

• AlN SCHEDA DI SICUREZZA
  

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