Template AlN su zaffiro(0001) 4 "x 0,5mm, un lato lucidato, film AlN: 5000nm - FmAlNonALc101D05C1FT5000US
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Template AlN su zaffiro(0001) 4 "x 0,5mm, un lato lucidato, film AlN: 5000nm - FmAlNonALc101D05C1FT5000US
MTI
Il Template AlN su zaffiro è realizzato da una metodo basato sulla deposizione di vapore al plasma di nano-colonne (PVDNC). Il template di AlN è un modo economico per sostituire il substrato di cristallo singolo di AlN.
Specifiche tecniche
- Sagoma in nitruro di alluminio: 4'' di diametro
- Spessore nominale AlN: 5000 nm +/- 10%
- Superficie del lato anteriore: Come coltivato
- Superficie posteriore: Substrato come ricevuto
- Area di esclusione dei bordi: 5 mm
- Densità dei macrodifetti: <=5 cm-2
- Substrato Sahhpire, diametro: 100 +/- 0,2 mm
- Substrato di zaffiro, orientamento: Piano C disassato di 0,20 +/- 0,1 gradi rispetto al piano M
- Finitura superficiale: lucidato su un solo lato
Per i dati sulla rugosità superficiale e sulla XRD, fare clic qui.
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