Template AlN su zaffiro (0001) 2 "x 0,5mm, un lato lucidato, film AlN: 5000nm - FmAlNonALc50D05C1FT5000US5
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Template AlN su zaffiro (0001) 2 "x 0,5mm, un lato lucidato, film AlN: 5000nm - FmAlNonALc50D05C1FT5000US5
MTI
La sagoma AlN su zaffiro è realizzata da un metodo basato sulla deposizione di vapore al plasma di nano-colonne (PVDNC). Il template di AlN è un modo economico per sostituire il substrato di cristallo singolo di AlN.
Specifiche tecniche
- Dimensioni 2" rotondo
- Dimensioni: 50 mm +/- 2 mm
- Substrato Zaffiro Orientamento: asse c (0001) +/- 1,0deg.
- Tipo e drogaggio: Non drogato, semi-isolante
- Densità dei macrodifetti: <5 cm-2
- Front Surface Finish (Al Face): As-grown
- Back Surface Finish Sapphire as-received finish
- Useable Surface Area >90%
- Area di esclusione dei bordi 1 mm
- Pacchetto Contenitore per singolo wafer
- AlSpessore dello strato N 5000 nm , (¡À 10%)
Per i dati di Surface Rughness e XRD, fare clic qui.
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