LaAlO3, (110) orn. Lucidatura EPI 3" x 0,5mm wafer 1 SP --- MTI Special !!!-1

Specifiche del substrato:

• Dimensione del wafer:  3" dia +/- 0,5 mm x 0,5 spessore +/-0,05 mm
• Orientamento del wafer: (110) +/-0,5 gradi 
• Bordo Orientamento: <001> +/-1 Deg con 20 mm di lunghezza
  
• Lucidatura:   Lucidato con CMP con sotto-superficie libera danneggiata
  
• Finitura superficiale (RMS o Ra) :  < 15A
• Confezione: In camera bianca di classe 1000 e in sacchetto di plastica di grado 100 in un contenitore di wafer.
• Costante di Lattice a=3,792ŠPseudo cubico
• Attenzione: Il cristallo LaAlO3 presenta una gemma visibile su una superficie lucidata, che è di natura normale.

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