Verniciatore sputtering a magnetronio CC ad alta potenza con stadio rotante e refrigeratore d'acqua - VTC-16-SM

Il VTC-16-SM è un ad alta potenza Desktop Magnetron Rivestimenti per sputtering al plasma con raffreddamento ad acqua Testa del bersaglio da 2, refrigeratore d'acqua e portacampioni girevole. L'unità di rivestimento è progettata per rivestire tutti i film metallici fino a wafer da 4" di diametro incluso Zn, Al, Ti e carbonio film leggero a un costo accessibile. Uno Cu è incluso per l'uso immediato.
 (Dal 14 maggio 2021, questo prodotto ha cambiato il suo colore in blu.)

SPECIFICHE

Tensione di ingresso	220 VAC 50/60Hz  L'alimentazione a 110 V è disponibile utilizzando un trasformatore da 1000 W (fusibile da 15 A). Il trasformatore è venduto separatamente.
Potenza di uscita	1600 VCC 250 W 150 mA max. Protezione da sovracorrente incorporata (>150 mA)
Camera dei campioni	Tubo di vetro al quarzo, 165 mm OD. X 150 mm ID x 250 mm Altezza Per favore fare clic qui per ordinare il ricambio della camera al quarzo.
Testa di sputtering e Fase del campione	La testa di sputtering magnetronico flessibile da 2" con raffreddamento ad acqua è inclusa (Fig. 1).  Spessore del target: fino a 1/4" per il target non magnetico; fino a 1/16" per il target magnetico Un diametro di 50 mm in acciaio inox Lo stadio di campionamento è ruotabile da 0 a 5 giri/min. Un otturatore ad azionamento manuale per la protezione del target. (Fig.2) Il supporto della testa di sputtering è disponibile per tenere la testa di sputtering quando non è in funzione. La distanza tra la testa di sputtering e lo stadio del campione è regolabile da 60 a 100 mm. Area di rivestimento massima: 4" di diametro massimo.  Uno Refrigeratore d'acqua a ricircolo d'aria fredda Flusso 10 L/min è incluso per il raffreddamento della testa di sputtering. (Fig. 6)              1.    2.    3.    4.    5.         6.
Pannello di controllo	Pannello di controllo touch-screen a colori da 6" con integrazione PLC per un facile funzionamento Un unico pannello per il monitoraggio e il controllo di tutti i parametri: vuoto, corrente.
Pressione massima del vuoto e Pompa del vuoto (opzionale)	Porta per il vuoto KF25 incorporata Il sistema richiede un serbatoio di gas Ar con un regolatore di pressione. (non incluso) <1,0E-2 Torr da Pompa per vuoto a palette (non inclusa) per obiettivi Au, Ag, Pt, Cu, Mo (non sensibili all'aria.Fig. 1-2) < 1,0E-5 Torr da Pompa turbomolecolare (non inclusa) per obiettivi Al, Mg, Li, Lr, Zn (sensibili all'aria. Fig. 3-4) Il vuoto più basso può raggiungere < 4,0E-6 Torr pompando durante la notte e cuocendo (Fig. 3-4).  È possibile ordinare un generatore di potenza RF per sputtering di materiali non conduttivi o semiconduttori (Fig. 5).     Pic1  Pic.2 Pic. 3 Figura 4 Figura 5 5
Atmosfera di gas	È stata installata una valvola a spillo per consentire l'ingresso del gas Ar per ottenere un migliore rivestimento del plasma. Il sistema richiede un serbatoio di gas Ar con regolatore di pressione (non incluso).
Obiettivo	Un rame da 2 pollici bersaglio  Il bersaglio è incluso per il test, dimensioni: 2" Dia.x 2,5mm. Può anche rivestire Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mgecc. quasi tutti i tipi di materiali metallici.  Attenzione Obiettivo alluminio, cromo o nichel possono essere rivestiti da questa macchina, ma prima dell'uso si prega di consultare il Metodo di rivestimento consigliato. Per il rivestimento dell'allumina, utilizzare il plasma RF Magnetron Sputtering.
Monitoraggio dello spessore del film opzionale	Il monitor dello spessore del film è opzionale con un costo aggiuntivo (fare clic sulla Fig. 1 per i dettagli. Vedere le Fig. 2,3,4 per le immagini). Stadio campione riscaldabile fino a 500°C è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo Il flussometro per l'ingresso preciso del gas di controllo è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.    1.     2.    3.      4
Dimensioni complessive	Fare clic sull'immagine per vedere i dettagli
Peso netto	20 kg
Peso e dimensioni di spedizione	160 libbre 45" x 45" x 40"
Video sul funzionamento
Conformità	Approvazione CE La certificazione NRTL NON è disponibile temporaneamente.
Garanzia	Un anno di garanzia limitata con assistenza a vita
Note applicative	Attenzione: La testa di sputtering è collegata ad alta tensione. L'operatore deve indossare guanti durante l'operazione Assicurarsi che il target, la testa di sputtering, il substrato e lo stadio di riscaldamento siano puliti prima del rivestimento; è necessario utilizzare carta vetrata e alcool per pulire e rinfrescare il target di Al o Nickel ogni volta che lo si utilizza.