Verniciatore PVD compatto con sputtering a magnetrone CC e stadio di vibrazione - VTC-16-PW

Il VTC-16--PW è un compatto per il rivestimento di polveri con sputtering con una testa di sputtering magnetronico raffreddata ad acqua da 2" e uno stadio di vibrazione. Le particelle rimbalzano e si auto-rotano sullo stadio di vibrazione per ottenere un rivestimento e una funzionalizzazione omogenei. Il magnetron sputtering DC predefinito è compatibile con target metallici, mentre la sorgente di alimentazione RF è opzionale per materiali non conduttivi o carbonio. È stato progettato per la preparazione di polveri per la stampa 3D e di elettroliti allo stato solido e può essere utilizzato anche per il rivestimento di piccoli campioni piatti per il SEM senza vibrazioni.
(Aggiornamento del colore del rivestimento in blu, fase di vibrazione a forma di coppa dal gennaio 2020).

SPECIFICHE Ci riserviamo il diritto di modificare il prodotto in qualsiasi momento senza preavviso.)

Potenza	220 VAC 50/60Hz; L'alimentazione a 110 V è disponibile tramite un trasformatore da 1000 W (opzionale) 250 W, 150 mA max. Protezione da sovracorrente (>150 mA)
Pistola sputtering	Testa di sputtering a magnetrone da 2" DC con camicia di raffreddamento ad acqua per bersagli metallici Otturatore meccanico del fascio Supporto della pistola di sputtering per tenere la pistola durante il caricamento del campione. Distanza di deposizione regolabile: 60 - 100 mm      .     .
Stadio di vibrazione	L'amplificazione delle vibrazioni è regolabile da 400 a 2000 RPM in termini di velocità del motore. Un serbatoio per la polvere da 2" (a forma di tazza) si trova sul motore di vibrazione. La polvere rimbalza e si auto-rota durante il processo di rivestimento. Quantità di polvere consigliata: 5 - 10 ml Dimensione delle particelle suggerita: 1 ~ 1000 micron (deve essere asciugata sotto vuoto prima del rivestimento)
Camera a vuoto e protezione	Tubo di vetro al quarzo, 165 mm OD. × 150 mm ID × 250 mm H Si prega di fare clic qui per ordinare il ricambio della camera al quarzo Per una maggiore sicurezza è stato progettato un coperchio di protezione.
Pannello di controllo	Pannello di controllo touch-screen a colori da 6" con integrazione del PLC per un facile funzionamento Un unico pannello per il monitoraggio e il controllo di tutti i parametri: vuoto, corrente
Pressione del vuoto	Il manometro Pirani a capacità potenziata Inficon è incluso (intervallo: 1125 - 3,8E-5 Torr). Il sistema richiede un serbatoio di gas Ar con un regolatore di pressione (non incluso). Porta del vuoto KF25 per il collegamento alla pompa del vuoto.  < 1,0E-2 Torr da Pompa per vuoto rotativa a palette (non inclusa) per obiettivi Au, Ag, Pt, Cu, Mo < 1,0E-5 Torr da Turbopompa (non inclusa) per obiettivi Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn (sensibili all'aria) Nota: il rivestimento in corrente continua non è adatto per lo sputtering di metalli Mo, W, Hf, Ir, ecc. È possibile ordinare un alimentatore RF per rivestire metalli ad alto peso atomico (95 fare clic sull'immagine 3 per ordinare). Il vuoto finale può raggiungere < 4,0E-6 Torr dopo la cottura e il pompaggio notturno.                  Foto. 3
Controllo del gas	Per il controllo della pressione è installata una valvola a spillo all'ingresso del gas.  Il sistema richiede un serbatoio Ar con il regolatore di pressione (non incluso).
Obiettivo	Uno da 2" in rame obiettivo è incluso per il test, dimensioni del bersaglio: 2" diametro x 2,5 mm Può anche rivestire Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mgecc. quasi tutti i tipi di materiali metallici Attenzione: Alluminio, cromo o nichel possono essere rivestiti da questa macchina, ma si prega di visualizzare il metodo di rivestimento consigliato nel seguente link di destinazione Utilizzare il rivestimento con plasma RF e magnetron sputtering per il rivestimento di materiali non conduttivi e carbonio.
Refrigeratore d'acqua	A digitale circolatore dell'acqua di raffreddamento a temperatura controllata è incluso. Portata: 16 L/min Capacità di raffreddamento: 840 W (722 kCal/ora)
Dimensioni complessive	830 mm×600 mm×370 mm (H×L×L)
Peso netto	33 kg
Peso e dimensioni di spedizione	160 libbre 45" x 45" x 40"
Istruzioni per l'uso	(Fare clic sull'immagine per maggiori dettagli)
Conformità	Approvazione CE La certificazione NRTL (UL 6100) è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo; per un preventivo, contattare il nostro rappresentante commerciale.
Garanzia	Un anno di garanzia limitata con assistenza a vita
Note applicative	Attenzione: La testa di sputtering è collegata ad alta tensione. L'operatore deve indossare i guanti durante il funzionamento Assicurarsi che il target, la testa di sputtering, il substrato e lo stadio di riscaldamento siano puliti prima del rivestimento; è necessario utilizzare carta vetrata e alcool per pulire e rinfrescare il target di Al o Nichel ogni volta che lo si utilizza. Nota: la polvere deve asciugarsi e disperdersi bene prima del rivestimento.   Il rivestimento non può essere utilizzato in camera d'aria Ar, ma con gas N2. Se si desidera utilizzare sotto la camera a guanti con gas Ar, è necessario informarci in anticipo; è necessario apportare alcune modifiche con un costo aggiuntivo.