Sorgente di sputtering a magnetrone da 1" con testa flessibile per il rivestimento sputtering RF e CC fai da te - HVMSS-SPC-1-LD

HVMSS-SPC-1-LD è una pistola per sputtering a magnetrone con una testa flessibile in grado di adattarsi a un'ampia gamma di 1" Dia. sorgenti di sputtering. La compatibilità con gli alimentatori CC, CC pulsato e RF garantisce la massima versatilità e ne estende l'uso a diversi target di sputtering (ad esempio, metallici, elettricamente isolanti, magnetici o non magnetici, ecc.) Inoltre, il suo design ad alto vuoto consente l'uso di Argon a livelli di bassa pressione, migliorando la qualità del rivestimento grazie alla riduzione delle collisioni di gas all'interno della camera.

I magneti circolari in terre rare Nd-Fe-B isolati dall'acqua di raffreddamento sono stati implementati nel progetto per ridurre al minimo le interfacce acqua-vuoto che si trovano tipicamente in altre sorgenti di sputtering. Questi magneti sono sostituibili sul campo e rendono la pistola di sputtering facile da usare e da mantenere. L'installazione di questa apparecchiatura è semplice e permette di cambiare il bersaglio senza doverlo incollare.

Caratteristiche	Elevata intensità di campo e profilo di campo uniforme ottenuti grazie all'utilizzo di calcoli elettromagnetici agli elementi finiti nella progettazione del gruppo magnetico permanente Testa di sputtering a bassa impedenza e connettore RF standard si adattano facilmente e interfacciarsi con un'ampia gamma di alimentatori per sputtering CC e RF. Facile installazione con strumenti comuni. I magneti sono isolati dall'acqua di raffreddamento con il rivestimento protettivo contro la corrosione per massimizzare la durata. La sorgente di sputtering può essere cotta fino a 200°C. Piastra di supporto in rame da 1" (EQ-CBP-1) è inclusa. Albero standard da ¾" OD Accetta bersagli da 1/8" (3 mm) di spessore; 1 pezzo di bersaglio in rame è incluso come accessorio standard.
Pistola sputtering	Diametro della testa di sputtering: 1,82" (46,3 mm) Diametro del bersaglio: 1,0 ± 0,02" (25,4 mm) Spessore massimo del bersaglio: 1/8" (3 mm)  Magneti: Magnete in terre rare NdFeB Diametro dell'albero: 3/4" O.D.
Connettore elettrico	Connettore per cavo SL16 standard ( Fig.1 ) Cavo RF opzionale da 148 cm con connettore SL6 (fare clic sulla Fig. 2 per ordinare) I raccordi per tubi da 4 mm sono non sono inclusi. Il costo aggiuntivo sarà fornito su richiesta.
Requisiti di potenza	DC (max.) 250 W RF (max.) 100 W
Catodo Corrente di sputtering	3 Amp (Max.)
Catodo Tensione di sputtering	200 - 1,000 V
Intervallo di pressione operativa	~1 mTorr a 1 Torr
Curva di uniformità dello spessore di sputtering	NOTA: Il grafico dello spessore normalizzato del film sopra riportato è stato ottenuto depositando un film dello spessore di ~200-nm con una pistola di sputtering PVD HV Magnetron utilizzando un bersaglio di Cu da 1 pollice. Le misure sono state eseguite utilizzando una sonda a 4 punti in due direzioni reciprocamente perpendicolari (X, Y) sulla superficie del wafer. Il film è stato depositato su un wafer Si ossidato non rotante alle seguenti condizioni: 150 Watt CC in 10 mTorr (Ar) Distanza di 3 pollici (75 mm) dal target al substrato
Acqua Raffreddamento (Richiesto)	Portata richiesta: 1/2 GPM, filtrato Temperatura di ingresso dell'acqua: <20 C Allacciamento acqua: Tubi da 4 mm O.D.
Raccordi elettrici e di montaggio	Connettore elettrico: Tipo HN standard (CC e RF) Connettore rapido per alto vuoto è incluso. Connessione rapida per alto vuoto con ID da 0,75" (compatibile con HVMSS-SPC-1-LD). Utilizzare questo componente per installare lo strumento di sputtering HVMSS-SPC-1-LD sulla piastra di base (di spessore fino a 1") di una camera da vuoto con foro passante di diametro 1".
Flangia per vuoto con foro passante  (opzionale)	Flangia da 6" CF con un passaggio per alto vuoto è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo. La testa di sputtering può essere facilmente installata sulla flangia del vuoto da 6'' CF attraverso il morsetto rapido per il vuoto. La posizione in altezza della pistola sputtering può essere regolata manualmente all'interno della camera da vuoto.
Lunghezza complessiva	14 pollici
Peso netto	3 libbre
Montaggio dell'inclinazione	La testa di sputtering può essere inclinata di +/- 45 gradi per regolare l'angolo di incidenza dei bombardamenti e migliorare la resa dello sputtering. Le linee di incisione sul gruppo di inclinazione consentono di regolare con precisione l'angolo.
Accessori opzionali	Il refrigeratore d'acqua digitale a temperatura controllata con serbatoio da 6 litri e portata di 16 l/min è disponibile a un costo aggiuntivo, da ordinare separatamente. MTI offre diversi accessori per lo sputtering progettati per essere utilizzati con il sistema di HVMSS-SPC-1 pistola per sputtering a magnetrone per i clienti interessati a creare spalmatori magnetronici fai-da-te personalizzati:
Istruzioni per l'uso	clicca per vedere gli altri componenti)
Garanzia	Un anno di garanzia limitata con assistenza a vita
Informazioni sul rivestimento sputtering	Sputtering DC