Cassetta per guanti con purificazione
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- Dimensioni della camera: 1200 mm L x 740 mm L x 900 mm H, in acciaio inox.
- Porta anteriore a cerniera per caricare facilmente i dispositivi e i campioni.
- Funzione di spurgo automatico per rimuovere rapidamente O2 e H2O prima della purificazione a ricircolo
- Funzione di rigenerazione automatica integrata nel pannello di controllo
- Il sistema di purificazione di alta qualità garantisce O2 e H2O inferiori a 1 PPM
- Due anticamere per la consegna di campioni grandi e piccoli
- Fare clic sull'immagine nella colonna di sinistra per visualizzare le specifiche dettagliate della camera a guanti.
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Rivestimenti per sputtering
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- Il coater è incassato nella parte inferiore della glovebox con una flangia a tenuta d'aria.
- Due pistole di sputtering al plasma magnetroniche da 2" sono installate sulla parte superiore del coperchio, che è una porta a cerniera.
- Due sorgenti di alimentazione per lo sputtering sono integrate in un'unità di controllo e sono collocate all'esterno della camera a guanti.
- Una sorgente CC: 500 W di potenza per il rivestimento di materiali metallici (figura 1).
- Una sorgente RF: 300 W di potenza, frequenza 13,56 MHz per il rivestimento di materiali non conduttivi (Fig. 2).
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 -- Pic 1  -- Pic 2
- Fare clic sull'immagine nella colonna di sinistra per vedere le specifiche dettagliate del rivestimento sputtering
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Potenza in ingresso |
- Monofase 220 VAC 50 / 60 Hz
- 2500 W (compresa la pompa del vuoto e il refrigeratore d'acqua)
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Testa di sputtering a magnetrone
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Due 2" Teste di sputtering a magnetrone con camicie di raffreddamento ad acqua e otturatori sono inclusi (Clicca sulla 1a foto)
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Uno è collegato a sorgente DC per il rivestimento di materiali metallici
- L'altro è collegato alla sorgente RF per i materiali non conduttivi.
- Dimensione del bersaglio richiesta: 2" di diametro
- Intervallo di spessore: 0,1 - 5 mm per target metallici e non conduttivi (compresa la piastra di supporto)
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Uno Acciaio inossidabile Un bersaglio in acciaio inox e un bersaglio di ricerca Al2O3 sono inclusi per i test dimostrativi
- Ricetta di sputtering consigliata e suggerimenti utili
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Camera a vuoto
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- Camera da vuoto: 300 mm di diametro x 300 mm di altezza, in acciaio inossidabile.
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Porta di osservazione: Due pezzi di vetro di 100 mm di diametro. Uno fisso, l'altro staccabile per la pulizia e la sostituzione.
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Coperchio a cerniera con asta di alimentazione pneumatica permette di cambiare facilmente il bersaglio
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Fase campione
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- Il supporto del campione è uno stadio ruotabile e riscaldabile costituito da un riscaldatore in ceramica con copertura in rame.
- Dimensioni del portacampioni: 140 mm Dia. per. 4" wafer max
- Velocità di rotazione: 1 - 20 rpm regolabile per un rivestimento uniforme
- La temperatura del supporto è regolabile da RT a 500 °C max (2 ore max) con una precisione di +/- 1,0 °C tramite un regolatore di temperatura digitale.
   
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Controllo del gas e del flusso
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- Sono installati due regolatori di portata massica (MFC) di precisione per consentire l'ingresso di due tipi di gas
- Portata: 0 - 200 mL/min e 0 - 100ml/min regolabili sul pannello di controllo touch screen
- Valvola di ingresso dell'aria installata per il rilascio del vuoto
- Per il funzionamento del sistema di rivestimento nella camera stagna è necessario un gas Ar di purezza 5N.
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Pompa del vuoto
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Refrigeratore d'acqua
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- Un sistema digitale di controllo della temperatura a ricircolo d'acqua è incluso. (Fare clic sull'immagine per vedere i dettagli)
- Intervallo di refrigerazione: 5~35 °C
- Portata: 16 L/min
- Pressione della pompa: 14 psi
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Opzionale
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- Quarzo di precisione Monitoraggio dello spessore del film opzionale, che può essere inserito nella camera per monitorare lo spessore del rivestimento con una precisione di 0,10 Š
- Cliccare sull'immagine a sinistra per vedere le specifiche dettagliate
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Dimensioni complessive
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 Coperchio chiuso: 48" × 28" × 32"  Coperchio aperto: 48" × 28" × 37"
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Peso netto della spalmatrice |
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Conformità
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- Omologazione CE
- La certificazione NRTL (UL 1450) è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.
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Garanzia |
- Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita
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Video dimostrativo del funzionamento
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