Rivestimenti per film sottili 2 in 1: Sputtering con magnetron e evaporazione termica - VTC-1RF-SPC

• Monofase 220 VAC+/- 10%, 50/60 Hz
• 4200 W (compresi pompa del vuoto e refrigeratore d'acqua)

• Uno Testa di sputtering a magnetrone da 1" con connettore rapido per alto vuoto è inclusa. La testa è realizzata in sputtering dal basso verso l'alto (fare clic sull'immagine a sinistra).
• La distanza tra la testa di sputtering e lo stadio del campione è regolabile da 60 a 100 mm.
• Tra la testa di sputtering e lo stadio di campionamento è presente un deflettore ruotato manualmente per evitare la contaminazione.
• È inclusa una sorgente di alimentazione per lo sputtering. È possibile scegliere una sorgente DC o RF in base ai materiali di destinazione:

• Sorgente DC: 500 W di potenza per il rivestimento di materiali metallici (Fig. 1)
• Sorgente RF: 300 W di potenza, frequenza di 13,56 MHz per il rivestimento di materiali non conduttivi (Fig. 2).

Evaporazione termica 

• Una sorgente di evaporazione è installata sul fondo della camera a vuoto
• La bobina di riscaldamento in tungsteno è costruita in un crogiolo di allumina.
• Il crogiolo SS316 è disponibile su richiesta per l'evaporazione del metallo Li.
• Una coppia termica di tipo S è installata sul fondo del crogiolo.
• La temperatura massima di evaporazione è di 1350oC 
• La temperatura è controllata con precisione da un regolatore di temperatura programmabile in un pannello touchscreen.

Camera a vuoto

• Camera da vuoto: 250 mm di diametro x 360 mm di altezza, in acciaio inossidabile.
• Finestra di osservazione: Vetro al quarzo di 100 mm di diametro con chiusura a vuoto
• La flangia superiore della camera può essere spostata verso l'alto e verso il basso da un motore elettrico per caricare il campione.
• Il portacampione rotante e riscaldabile è installato sulla flangia superiore 
• Dimensioni del portacampioni: 100 mm
• Temperatura di riscaldamento del portacampioni: 700oC Max ±3. con 30 segmenti programmabili
• La turbopompa (inclusa) è collegata alla camera direttamente tramite una flangia KF60 con una valvola a saracinesca elettrica.
• Gli elettrodi di evaporazione passano attraverso la flangia KF63
• Una flangia KF35 è predisposta per l'installazione di un dispositivo opzionale per la misurazione dello spessore del film. 
• Le porte di ingresso e di uscita del gas e le valvole sono incluse
• Livello di vuoto massimo: 8x10-6 torr allo stato freddo)

• Un sistema digitale di controllo della temperatura a ricircolo d'acqua è incluso. (Fare clic sull'immagine per vedere i dettagli)
• Intervallo di refrigerazione: 5~35 °C
• Portata: 16 L/min
• Pressione della pompa: 14 psi

• Pannello touchscreen a colori da 7" installato per il controllo di
• Temperatura di evaporazione
• Temperatura e velocità di rotazione dello stadio campione
• Accensione/spegnimento della pompa del vuoto e visualizzazione del livello di vuoto
• Valvola del vuoto on/off

• Quarzo preciso Monitoraggio dello spessore del film opzionale, che può essere inserito nella camera per monitorare lo spessore del rivestimento con una precisione di 0,10 Å.
• Precisione Sistemi di analisi dei film sottili e dei rivestimenti - TFMS-LD è disponibile a un costo aggiuntivo

Conformità

• Approvazione CE
• La certificazione NRTL è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo; per il preventivo, contattare il nostro rappresentante commerciale.