12500 RPM Ultra-Hi Speed Spin Coater per 4" Max con mandrino a vuoto - VTC-100PAX
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12500 RPM Ultra-Hi Speed Spin Coater per 4" Max con mandrino a vuoto - VTC-100PAX
MTI
VTC-100PAX è una spalmatrice ultraveloce fino a 12500 giri/min per wafer di diametro massimo di 5". 5" di diametro del wafer. L'attuatore della testa di rotazione è un servomotore CC di precisione con un controllo accurato della velocità e dell'accelerazione. Il substrato può essere tenuto sotto vuoto (per gli oggetti più sottili). Il dispositivo è dotato di un display LCD per la programmazione di vari parametri fino a 12 programmi e 6 segmenti. La durata della rotazione, la velocità di rotazione e l'accelerazione possono essere programmate dal pannello frontale. Tutti i componenti del dispositivo sono protetti dalla corrosione per renderlo compatibile con le camere bianche. La centrifuga può essere utilizzata in camera sterile con gas Ar.
SPECIFICHE:
Caratteristiche principali |
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Mandrino per il vuoto |
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Pompa del vuoto (opzionale)![]() |
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Pannello di controllo![]() |
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Potenza in ingresso |
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Ingresso gas |
La porta di ingresso del gas da 6 mm di diametro consente ai clienti di riempire la camera con il gas desiderato, che può essere rivestito in un ambiente con flusso di gas inerte.![]() |
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Iniezione di liquidi |
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Conformità |
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Avvertenze |
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