Forno tubolare con vuoto spinto (1E-4 torr) e stazione di flusso del gas a 3 canali per CVD - Serie OTF-1200X-HVC3

La workstation della serie OTF-1200X-HVC è composta da un forno tubolare della serie OTF-1200X, una stazione di controllo del gas a flusso di massa di precisione, una stazione ad alto vuoto e altre parti di assemblaggio. La temperatura massima di lavoro di questa stazione di lavoro è di 1200 °C. Il tasso di vuoto finale arriva a 10^-4 torr (con il nostro gruppo di tenuta in dotazione). La stazione di controllo del gas a flusso di massa miscela tre tipi di gas e permette al gas miscelato di fluire in un tubo di quarzo fuso all'interno del forno. È adatto per esperimenti come CVD, diffusione e altri termotrattamenti in condizioni di vuoto e con gas di schermatura protetti.

SPECIFICHE:

Forno tubolare serie OTF-1200X	Involucro	Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria. Termostato incorporato per controllare il raffreddamento automatico quando il case è > 55°C.
	Tubo di lavorazione	Materiale: Tubo di quarzo fuso Un tubo di lavorazione è incluso nel forno. Contattare MTI per specificare il diametro del tubo.  Selezionare la dimensione del tubo nella barra opzionale per aggiornare il prezzo. Posizionamento del blocco termico
	Potenza	2,5KW
	Tensione nominale	AC 208-240V monofase, 50/60Hz
	Elemento di riscaldamento	Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo
	Temperatura di lavoro	Massima Temperatura di riscaldamento: 1200°C Temperatura di lavoro continua: 1100°C
	Velocità di riscaldamento	Velocità di riscaldamento: 1~20°C/min programmabile
	Lunghezza della zona di riscaldamento	Zona di riscaldamento totale: 440 mm Temperatura costante. Zona: 150 mm (±1°C)
	Temperatura. Controllo	Controllo automatico PID con segmenti programmabili a 30 passi. Precisione della temperatura: ±1°C Termocoppia: Tipo K incorporata all'interno del forno
	Tenuta del vuoto	Una coppia di flange sottovuoto in acciaio inox con:  un manometro meccanico  due valvole a spillo  un connettore KF-25 per la stazione di alto vuoto.
	Potenza	100~110W
	Tensione nominale	CA 208-240V monofase, 50/60Hz
Stazione ad alto vuoto	Struttura	Dimensioni del carrello mobile: 600 (L) x 600 (L) x 700 (H), mm Carico max. Carico: 600 libbre sulla parte superiore Pannello di controllo della pompa molecolare: LCD digitale Interno: Pompa per vuoto Pfeiffer made in Germany Sensore di vuoto incluso
	Portata in volume	Azoto N2 33 L/s Elio He 39 L/s (2340L/minuto) Idrogeno H2 32 L/s
	Campo di lavoro	Da 1000 mbar a <1E-7 mbar
	Pressione finale	<1E-8 mbar (senza perdite)
Controllo del flusso di massa del gas EQ-GSL-LCD	Struttura	Valvola in acciaio inox 316 Serbatoio di miscelazione del gas: ?80X120mm  600 mm (L) x 745 mm (L) x 700 mm (H) Pannello di controllo touch screen a colori da 6" per facilitare l'impostazione dei parametri. Controllo touchscreen e telecomando PC commutabili.
	Potenza	23W per canale
	Tensione nominale	AC 220V/50Hz Monofase

Regolatore di temperatura	FA-YD518P-AG è incluso il regolatore di temperatura. Controllo proporzionale-integrale-derivativo (controllo PID) e funzione di autotune 30 segmenti programmati con fasi di rampa, raffreddamento e dimora Allarme integrato di sovratemperatura e di guasto della termocoppia Precisione di controllo della temperatura di +/- 1 ºC Porta di comunicazione PC DB9 predefinita
Controllore di temperatura (opzionale)	Il kit software di controllo della temperatura MTS02-Y (per i controllori della serie YD518P) + pacchetto laptop da 15" è disponibile nella barra delle opzioni. Fare clic per informazioni dettagliate sul kit software MTS02-Y.  È possibile aggiornare il termoregolatore alla versione Controllore di temperatura Eurotherm 3504 che è completamente compatibile con LabVIEW. Questo pacchetto comprende un programmatore Eurotherm 3504, un cavo di comunicazione (RS485 - USB) e un CD del software. Fare clic sull'immagine sottostante per visualizzare le specifiche complete del termoregolatore Eurotherm 3004.
Opzionale	Sistema di controllo gas a 2-9 canali con touch panel PLC e software operativo per PC è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo Fare clic sull'immagine in basso a sinistra per ordinare il gorgogliatore o l'evaporatore per CVD
Attenzione Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas	I forni tubolari con tubo al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar  Attenzione: È necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI per un funzionamento sicuro. Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas. La portata dei gas deve essere limitata a < 200 ml/min per ridurre gli shock termici al tubo. Le pressioni da vuoto possono essere utilizzate in modo sicuro solo fino a 1000°C.
Garanzia	Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita (Le parti di consumo, come i tubi di lavorazione e gli O-ring, non sono coperte dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati qui sotto).
Conformità	Certificazione CE La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.
Istruzioni per il funzionamento