MTI | SKU: OTF-1200X-80-DVD

Forno tubolare a 1200°C (ID 3") con scorrimento automatico del crogiolo interno - OTF-1200X-80-DVD

Name: Forno tubolare a 1200°C (ID 3") con scorrimento automatico del crogiolo interno - OTF-1200X-80-DVD
Brand: MTI
SKU: OTF-1200X-80-DVD
Availability: InStock

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Forno tubolare a 1200°C (ID 3") con scorrimento automatico del crogiolo interno - OTF-1200X-80-DVD

MTI

OTF-1200X-80-DVD è un forno tubolare da 1200ºC e 80 mm di diametro esterno con un meccanismo di scorrimento automatico a tenuta d'aria all'interno del crogiolo, che può spostarsi nella posizione di temperatura desiderata sotto l'atmosfera controllata come fonte di sublimazione per ottenere DVD o PVD per il substrato al centro del forno.

SPECIFICHE:

Caratteristiche del forno	Un portacampioni piatto in allumina ad alta conducibilità termica (2" Lx1 "W) La coppia termica con il portacampione può essere spostata manualmente all'interno di un tubo di quarzo azionato da un magnete per trovare la posizione di temperatura desiderata all'interno del tubo per l'evaporazione o la deposizione. Un monitor di temperatura di precisione certificato NIST è collegato alla coppia termica e al portacampioni tramite un passaggio sulla flangia del vuoto. Un magnete è Un magnete è incorporato all'interno del blocco termico, mentre un altro magnete è posizionato all'esterno del tubo. Il regolatore di temperatura programmabile a 30 segmenti è installato in una fornace per impostare la temperatura massima di lavoro fino a 1200oC al centro della fornace. Un piccolo crogiolo di quarzo incluso, che può essere utilizzato per contenere il materiale di evaporazione o per la deposizione di wafer in base all'applicazione.
Potenza del forno	110VAC o 208 - 240 VAC, 50/60Hz (Si prega di confermare il voltaggio al momento dell'ordine) 1.5 KW
Temperatura massima Temperatura di esercizio	1200°C (<1 ora)
Temperatura continua	1100°C ( continua)
Max. Velocità di riscaldamento	<= 20 °C/min
Zona di riscaldamento	Lunghezza della zona di riscaldamento: 8" (200 mm), zona singola. L'immagine seguente mostra la distribuzione della temperatura nella zona di riscaldamento; fare clic per ingrandirla. Temperatura costante. Zona: 2,3" (60 mm) (+/-1°C) a 1000 °C È necessario misurare il profilo di temperatura del forno per la propria applicazione prima di effettuare la crescita del film.
Regolatore di temperatura	Controllo automatico PID tramite relè a stato solido con 30 passi programmabili Protezione integrata da sovratemperatura e guasto della termocoppia Opzionale: Il forno può essere comandato da PC installando un modulo di controllo. Si prega di ordinare un modulo di controllo MTS02-B con un costo aggiuntivo.
Precisione della temperatura	+/- 1°C
Elementi di riscaldamento	Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo
Dimensione del tubo	Tubo di quarzo da 2 pollici (50 mm O.D x 44 mm I.D x 1000 mm L) Sono inclusi due blocchi di ceramica fibrosa per bloccare la radiazione termica dalla camera del tubo. (I blocchi di ceramica devono essere inseriti completamente nella camera del forno prima del riscaldamento). Una piccola barca di quarzo per posizionare i campioni o i materiali di evaporazione. Fare clic qui per scegliere crogioli di altre dimensioni
Flange per il vuoto	Flangia predefinita da 2" con raccordi Bard da 1/4'', porta di passaggio per tubo da 1/4'' (per inserto per termocoppia da 1/4'' O.D) e porta per vuoto KF25 (clicca sull'immagine sotto per vedere i dettagli)
Livello del vuoto	10^-2torr (con pompa meccanica)
Porte di raccordo & Parti opzionali	Potrebbe essere necessario un valvola per il vuoto all'estremità della porta del vuoto (fare clic sull'immagine a sinistra per ordinarla). Si può considerare di ordinare un flangia di collegamento rapido con un costo aggiuntivo. È possibile ordinare un sistema di erogazione del gas multicanale per il funzionamento di DVD o CVD.
Dimensioni
Peso netto	22 Kg
Spedizione Confezione Dimensioni	48''(L) x 24''(L) x 28''(H)
Peso di spedizione	120 libbre
Garanzia	Garanzia limitata di un anno con supporto per il tempo di sollevamento (le parti di consumo, come i tubi di lavorazione e gli O-ring, non sono coperte dalla garanzia).
Conformità	Certificazione CE La certificazione NRTL o CSA è disponibile a pagamento. fare clic sui marchi sottostanti per conoscere i dettagli)
Note applicative Clicca qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas	I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar Attenzione: È necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI per un funzionamento sicuro.