MTI | SKU: GSL1700XCHV

Forno tubolare 1700C con sistema ad alto vuoto (10^-4Torr) e miscelatore di gas MFC (2-4 canali opzionali) - GSL-1700X-4-HVC-LD

Name: Forno tubolare 1700C con sistema ad alto vuoto (10^-4Torr) e miscelatore di gas MFC (2-4 canali opzionali) - GSL-1700X-4-HVC-LD
Brand: MTI
SKU: GSL1700XCHV
Availability: InStock

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Forno tubolare 1700C con sistema ad alto vuoto (10^-4Torr) e miscelatore di gas MFC (2-4 canali opzionali) - GSL-1700X-4-HVC-LD

MTI

GSL-1700X-4-HVC-UL è un diametro 60 mm zona singola forno a tubi di allumina con un sistema di pompe ad alto vuoto (fino a 10^-5 torr) e regolatori di flusso di massa digitali di precisione a 2 canali, che possono controllare due tipi di gas per CVD o diffusione e lavorare fino a 1600ºC.

Specifiche tecniche

Forno tubolare serie GSL-1700X

Involucro

Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria.
Due ventole di raffreddamento interne per mantenere la temperatura del case a meno di 55°C.
Camera refrattaria in allumina ad alta purezza
Il sistema di miscelazione del vuoto e dei gas si trova nella parte inferiore Carrello mobile con 4 ruote.
Flangia per il vuoto, manometro, valvole, tubo e pompa per alto vuoto sono inclusi per un utilizzo immediato.

Tubo di lavorazione

Materiale: Allumina di elevata purezza
Un tubo di lavorazione in allumina da 60 mm di diametro esterno (EQ-TA-60D-M1000) è incluso nel forno.
Il forno può anche essere realizzato su misura per adattarsi al tubo di allumina di lavorazione con diametro esterno di 50 mm o 80 mm a un costo aggiuntivo; contattateci per ulteriori informazioni.

Posizionamento del blocco termico

Potenza

AC 208-240V monofase, 50/60Hz
6KW

Elemento di riscaldamento

Elemento riscaldante MoSi2 da 8 pezzi a 1800°C

Temperatura di lavoro.

Temp. max. Temperatura di riscaldamento: 1650°C
Temperatura di lavoro continuo: 1600°C

Velocità di riscaldamento

<=5°C/min

Lunghezza zona di riscaldamento

Lunghezza della zona di riscaldamento: 457 mm (18")
Lunghezza zona a temperatura costante: 150 mm (6") (+/-1°C)

Controllo della temperatura Controllo

Controllo automatico PID tramite limitazione della corrente che spara l'angolo di fase della resistenza con segmenti programmabili a 30 passi.
Precisione della temperatura:±1°C
Termocoppia: Tipo B incorporata nel forno
Porta di comunicazione RS485.

Controllo avanzato della temperatura (Opzionale)
Il kit software di controllo della temperatura MTS02-Y (per i controllori della serie YD518P) + pacchetto laptop da 15" è disponibile nella barra delle opzioni. Fare clic per informazioni dettagliate sul kit software MTS02-Y.
È possibile aggiornare il termoregolatore alla versione Controllore di temperatura Eurotherm 3504 che è completamente compatibile con LabVIEW. Questo pacchetto comprende un programmatore Eurotherm 3504, un cavo di comunicazione (RS485 - USB) e un CD del software. Fare clic sull'immagine sottostante per visualizzare le specifiche complete del termoregolatore Eurotherm 3504.

Sigillo a vuoto

Una coppia di flange sottovuoto in acciaio inox con:
- un vuotometro meccanico
- due valvole a spillo
- un connettore KF-25 e un adattatore da KF-25 a KF-40 per la stazione di alto vuoto.
- un connettore per tubo Swagelok da 1/4"

Dimensioni

550 x 380 x 520

Stazione per alto vuoto

Potenza

100~110W

Tensione nominale

CA 208-240V monofase, 50/60Hz

Dimensioni

600 (L) x 600 (W) x 700 (H), mm

Struttura

Dimensioni del carrello mobile: 600 (L) x 600 (L) x 700 (H), mm
Carico max. Carico: 600 libbre sulla parte superiore
Pannello di controllo della pompa molecolare: LCD digitale
Interno: Pompa per vuoto Pfeiffer made in Germany
Un sensore di vuoto è incluso

Pannello di controllo

Funzionamento con un solo pulsante - la pompa a membrana e la turbopompa si avviano dopo aver premuto il pulsante "start".
Velocità di rotazione controllata dal sistema - il controller controlla la velocità di rotazione della turbina in base al livello di vuoto e alla velocità di fuoriuscita della camera di reazione.
Autoprotezione - il sistema protegge la pompa da danni dovuti a surriscaldamento e sovracorrente se il tasso di perdita della camera di reazione è troppo alto per raggiungere un vuoto elevato.
Schermo LCD - controllo parametri a doppia riga intinterfaccia facilitano la gestione del lavoro.


Autodiagnosi	Filatura	Segnalazione di errori	Voltmetro	Velocità massima

Volume Portata

Azoto N2 33 L/s
Elio He 39 L/s (2340L/minuto)
Idrogeno H2 32 L/s

Campo di lavoro

Da 1000 mbar a <1E-7 mbar

Pressione finale

<1E-8 mbar (senza perdite)

Controllo del flusso di massa del gas
EQ-GSL-LCD

Struttura

Valvola in acciaio inox 316
Serbatoio di miscelazione del gas: ?80X120mm
600 mm (L) x 745 mm (L) x 700 mm (H)
Pannello di controllo touch screen a colori da 6" per facilitare l'impostazione dei parametri.
Controllo touchscreen e telecomando PC commutabili.

La gamma di controllo della portata e un certo numero di percorsi del gas sono disponibili per la personalizzazione. Contattateci per informazioni dettagliate.

Potenza

23W per canale

Tensione nominale

AC 220V/50Hz Monofase

Percorsi del gas

Selezionare il numero di percorsi gas nella barra opzionale per aggiornare il prezzo.

Note sull'applicazione

Come utilizzare e manutenere il tubo di allumina nel forno tubolare ad alta temperatura MTI.
Per ottenere una temperatura accurata all'interno del forno a tubi, è necessaria una calibrazione della temperatura prima dell'uso; fare clic qui per sapere come fare.
Come impostare il tubo ceramico e la flangia del vuoto per il forno a tubi MTI.
La pressione del vuoto può essere utilizzata in sicurezza solo fino a 1500°C per i tubi di allumina.
I forni per tubi con tubi in allumina sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,12 MPa (pressione assoluta).

Garanzia

Garanzia limitata di un anno (le parti di consumo come i tubi di lavorazione, gli o-ring e gli elementi riscaldanti non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati sotto).

Conformità

Certificazione CE
La certificazione NRTL (UL61010) o CSA è disponibile a pagamento.

Dimensioni di spedizione

Due casse in un pallet di plastica: 45x45x35/caso

Avvertenze

Clicca qui per imparare sull'installazione di un regolatore di gas.

I forni tubolari con tubi in allumina sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,02 MPa/ 3 PSI
Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI. Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas.
Non riscaldare mai il forno mentre la valvola di rilascio del gas è chiusa e nella camera del forno è presente una condizione di pressione positiva. Il manometro deve essere utilizzato per monitorare attentamente le condizioni della camera in ogni momento del processo di riscaldamento; aprire immediatamente la valvola di rilascio del gas quando la pressione della camera ha superato i 3 PSI per evitare danni imprevedibili.
La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min).
Le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1500°C.