MTI | SKU: VBF1200XV9

Forno a vuoto verticale 1100C Max con flangia (camera al quarzo da 8" OD) - VBF-1200X-V9

Name: Forno a vuoto verticale 1100C Max con flangia (camera al quarzo da 8" OD) - VBF-1200X-V9
Brand: MTI
SKU: VBF1200XV9
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Forno a vuoto verticale 1100C Max con flangia (camera al quarzo da 8" OD) - VBF-1200X-V9

MTI

VBF-1200X-V9 è un Verticale È dotato di una camera a tubi di quarzo di Ø200×Ø190×H425 mm con flangia e valvole in acciaio inossidabile, che può raggiungere un vuoto di 10^-5 tramite turbopompa Torr. È progettato per la calcinazione o la ricottura di wafer di semiconduttori (fino a 8") sotto vuoto o in varie altre atmosfere gassose con una temperatura fino a 1100°C.

SPECIFICHE

Potenza	Tensione: Monofase 208 - 240 VAC / 50/60Hz, (interruttore da 25 A installato) 3 KW max. Nota: il cavo di alimentazione è incluso ma non la spina. Si prega di installare una spina propria o di fare clic sul link sotto l'immagine per scegliere una spina in base ai requisiti del proprio paese o del proprio laboratorio.
Temperatura di lavoro	<1100°C a pressione ambiente <1000°C sotto vuoto Il tubo di quarzo GE214 è disponibile per una temperatura di lavoro di 1150oC con un costo aggiuntivo.
Velocità di riscaldamento	<20°C/ min Consigliato: 10°C/ min
Elementi di riscaldamento	Filo di resistenza Ni-Cr-Al
Tubo di quarzo e Riscaldamento efficace	Dimensioni del tubo: Ø200×Ø190×H425 mm Carico massimo 40Kg Area di riscaldamento Ø240×H245 mm
Flangia del vuoto	Flangia per il vuoto in acciaio inox con doppio O-ring in silicone per alte temperature con camicia di raffreddamento ad acqua Un ingresso e un'uscita gas da 1/4 con valvole a spillo. Viene fornito un blocco refrattario in schiuma di Al2O3 alesato (190Dia x 50mm). Porta K25 incorporata per il collegamento alla pompa del vuoto Vacuometro meccanico (incluso come accessorio standard), che varia da -0,1 a 0,15Mpa
Raffreddamento ad acqua	All'interno della flangia è stata realizzata una camicia di raffreddamento ad acqua per proteggere il gruppo di tenuta sottovuoto dalla fusione a oltre 200°C. È richiesto un flusso d'acqua di 16L/min.
Regolatore di temperatura	Il regolatore di temperatura digitale certificato NRTL è incluso Controllo proporzionale-integrale-derivativo (controllo PID) e funzione di autotune 30 segmenti programmati con incrementi di rampa, raffreddamento e dimora Allarme integrato di sovratemperatura e di guasto della termocoppia Precisione di controllo della temperatura di +/- 1 ºC Porta di comunicazione PC DB9 predefinita inclusa per il collegamento al PC Regolatore di temperatura Eurotherm è disponibile a un costo aggiuntivo con +/-0,1°C
Opzioni	Manometro digitale (opzionale) Un vuotometro digitale indipendente (sopra i 10mbar) di tipo a gas con un ampio intervallo compreso tra 3,8 x 10^-5 a 1125 Torr. (Fare clic sulla figura 1 per ordinare) È possibile scegliere un miscelatore di gas per l'erogazione di più gas con controllo della composizione e della portata del gas (fare clic sulle immagini sottostanti per ordinare separatamente). Il forno può essere modificato in un forno a riscaldamento e raffreddamento più rapido (Fig. 3). Foto. 1Foto. 2 Figura 3 3
Pressione del vuoto	Il livello di vuoto dipende dalla pompa del vuoto utilizzata, dal tubo collegato, dai materiali del blocco refrattario interno, ecc. Utilizzando il KFD25, il tubo in acciaio inox, la pompa meccanica a due stadi di MTI e la valvola a sfera KF25, il forno può raggiungere livelli di vuoto inferiori: 10^-2torr tramite pompa meccanica entro 30 minuti senza blocco termico. 10^-5torr tramite turbopompa entro 30 minuti con il quarzo Blocco termico a 900C Opzionale: La pompa del vuoto e il tubo non sono inclusi, fare clic su Pic.1 per ordinare Per ottenere un livello di vuoto più elevato, un Turbopump Station. (fare clic sulla figura 2) L'O-ring di tenuta di ricambio è disponibile a un costo aggiuntivo (fare clic sull'immagine 3). Valvola KF25 ad angolo retto per il collegamento rapido ai soffietti KF25 (vedere Fig.4) Fig. 1 Figura 2. 2 Figura 3 3 Figura 4 4
Opzioni	È possibile scegliere un miscelatore di gas per erogare più gas con controllo della composizione e della portata del gas (fare clic sulle immagini sottostanti per ordinare separatamente).
Conformità	Certificazione CE La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.
Avvertenze Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas	I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI. Tutti i forni per tubi di quarzo devono avere una temperatura massima di 1000°C per evitare che i tubi di quarzo si deformino sotto vuoto. La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM per ridurre gli shock termici.