MTI  |  SKU: HVCSS

Camera ad alto vuoto (18 "x17" x20") con finestra per sistema di rivestimento sputtering fai da te - HVC-SS

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Camera ad alto vuoto (18 "x17" x20") con finestra per sistema di rivestimento sputtering fai da te - HVC-SS

MTI

MTI fornisce una camera ad alto vuoto pre-costruita. Questa camera da vuoto può essere personalizzata per essere un sistema di rivestimento sputtering (fino a 5 sorgenti sputtering) e altri sistemi come CVD, ALD, ecc. Può anche essere utilizzata come camera di stoccaggio ad alto vuoto.
( Gradi superiori: nessuna verniciatura dal 2022-12 )



Camera
  • La camera del vuoto è realizzata in acciaio inox 304 con nervatura di rinforzo. 
  • Dimensioni della camera del vuoto interna:  470 mm L×445 mm P×522 mm H  (~ 105 litri 18,5 "x17,5 "x 20,5")
  • Porta rotonda a battente da 380 mm di diametro con finestra in vetro da 150 mm di diametro
  • Sulla porta anteriore è installata una finestra in vetro di 150 mm di diametro, sigillata sottovuoto, che facilita la osservazione
  • Per tutte le guarnizioni sottovuoto è possibile utilizzare O-ring in silicone.
  • Intervallo di temperatura: da -15 a 150°C
                Pressione del vuoto

                Porte e raccordi

                • Una porta KF40 è stata costruita sul lato destro della camera per collegarsi alla pompa del vuoto.
                • Quattro porte KF25 sono state costruite nella camera, 3 a sinistra e una a destra.
                • Per l'ingresso e l'uscita del gas sono stati installati tre raccordi BSPP da 1/4" con valvole a spillo (2 sul retro e 1 a sinistra).
                • Una porta da 1/8 NPT è installata sulla parte superiore della camera per collegare un vacuometro.
                • La piastra superiore è rimovibile per realizzare una porta e un raccordo personalizzati.
                • Il raccordo e l'attacco del cliente sono disponibili su richiesta
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                Applicazione
                              
                • L'immagine a sinistra mostra un sistema completo di rivestimento sputtering RF/DC (commutabile) utilizzando questa camera da vuoto. Lo sputtering singolo è dotato di sistema di pompaggio meccanico e turbo.
                Caso di applicazione 
                (Inviateci un'e-mail per un preventivo)
                Teste di sputtering da 1" opzionali (fino a 5 sorgenti di sputtering) o Teste di sputtering da 2" (fino a 3 sorgenti di sputtering)
                     
                           HVC-SS-1 HVC-SS-2 HVC-SS-2-II

                Opzionale

                • Cliccare sull'immagine in basso a sinistra 1- 2 per scegliere un vacuometro con un costo aggiuntivo
                • Fare clic sull'immagine a destra per scegliere una stazione di pompaggio del vuoto, in cui la camera del vuoto può essere collocata sulla parte superiore.
                           clicca per vedere gli altri componenti)

                Dimensioni


                         

                Funzionamento

                Garanzia

                Tre anni di garanzia limitata