Verniciatore PVD ibrido in una scatola a guanti: Uno sputtering RF da 2" + due sorgenti di evaporazione - VTC-H3-GB

Ingresso Potenza

• CA 208-240V Monofase, 50/60 Hz
• 1.5 KW (per il vano portaoggetti); 2,5 KW (per i rivestimenti PVD)
• Totale: 4,0 KW

• Dimensioni della camera: 1200 mm L x 740 mm L x 900 mm H
• La stazione di purificazione del gas è inclusa per garantire O2 e H2O inferiori a 1ppm) nella camera a guanti.
• Materiale della cassa: Acciaio inox 304 con spessore di 3 mm
• Dimensioni della camera: 1200 mm L x 740 mm L x 900 mm H
• Pannello frontale apribile (vetro temperato, spessore 8 mm) per facilitare il caricamento del dispositivo
• Fare clic sull'immagine a sinistra per le specifiche dettagliate

• La camera da vuoto è realizzata in SS304 ed è incassata nel fondo della camera a guanti
• La flangia superiore è del tipo incernierato ed è azionabile manualmente.
• Nella camera sono installate due finestre al quarzo per l'osservazione.
• La testa di sputtering al plasma e i due riscaldatori di evaporazione sono installati sul fondo della camera.
• Un portacampioni rotante è incorporato nella parte superiore della flangia e può contenere un campione di massimo 4 pollici. 4" di campione
• Velocità di rotazione: 5 rpm
• Un otturatore rotante è incorporato nella parte inferiore della flangia, che coprirà due fonti di rivestimento durante il lavoro di una fonte per evitare la contaminazione incrociata.
  

• Uno Generatore RF da 13,5 MHz, 300 W con funzione di abbinamento automatico, installato nella cassetta dei guanti esterna e collegato alla testa di sputtering da 2". (fare clic sull'immagine 1 per vedere le specifiche dettagliate).
• Una testa di sputtering a magnetrone da 2" con camicie di raffreddamento ad acqua è inserita nella camera a vuoto dal fondo della camera a guanti. (Fare clic sull'immagine 2 per vedere le specifiche dettagliate).
• È incluso un refrigeratore d'acqua a ricircolo a controllo digitale da 16 L/min per il raffreddamento delle teste di sputtering magnetroniche.  (fare clic sull'immagine 3 per vedere le specifiche dettagliate).
•  La testina di sputtering RF può essere dotata di materiale isolante o conduttivo. 
• Figura 1 Fig. 2    Figura 3

• Due riscaldatori a bobina di tungsteno con due termocoppie di tipo B e crogioli di allumina sono costruiti sul fondo della camera a vuoto (vedi Fig. 1).
• Un regolatore di temperatura digitale con 30 segmenti programmabili e una precisione di +/- 1 ºC per controllare il riscaldatore (Fig. 2).
• Un interruttore di alimentazione è installato per cambiare il riscaldamento da un crogiolo all'altro con lo stesso regolatore di temperatura. 
• Temperatura di lavoro: 200ºC - 1700ºC
• Velocità di riscaldamento consigliata: 0,3 ºC/s (RT-1200 ºC) e 15 ºC/s (1200ºC - 1700 ºC)
• Sono inclusi quattro crogioli di allumina (fino a 1700 ºC) e due riscaldatori a bobina di tungsteno. Per ordinare le parti di ricambio, consultare la sezione Optional.
•  Fig. 1    Figura 2

Pompa a vuoto

• La porta per il vuoto del KF25 è installata per il collegamento a una pompa per il vuoto.
• Il vuoto massimo può raggiungere <4,0E-6 Torr pompando durante la notte con la turbopompa opzionale.
• Diaframma capacitivo anticorrosione è incluso per il vuoto fino a 1,0E-6 TorPic.1
• Un vuoto è opzionale. Fare clic su Pic. 2 o 3 per ordinare Pompa per vuoto rotativa a palette a doppio stadio  (10-2 torr) o turbopompa (10-5 torr)
• Fig. 1 Fig. 2  Figura 3 3 
  

Monitoraggio dello spessore del film in situ
      (opzionale)

•  Si consiglia un monitor di spessore in situ ad alta precisione per il processo di deposizione del film sottile. Si basa sul principio che la massa di un film depositato su un cristallo di quarzo può essere misurata monitorando la variazione della frequenza di oscillazione del cristallo.
• Precisione dello spessore: 0,1 Š        
• Fare clic sull'immagine a sinistra per visualizzare le specifiche dettagliate.

Peso netto

Garanzia 

Conformità
    

• Certificazione CE
• La certificazione NRTL (UL61010) o CSA è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.

Istruzioni per il funzionamento