MTI  |  SKU: FmAlNonSiBc101005S1FT200nm

Templato di AlN non drogato su silicio ( Si <111> Tipo P ) 10mmx10mm x 200 nm - FmAlNonSiBc101005S1FT200nm

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Templato di AlN non drogato su silicio ( Si <111> Tipo P ) 10mmx10mm x 200 nm - FmAlNonSiBc101005S1FT200nm

MTI


Il Template AlN su Silicio è realizzato con un PVDNC metodo PVDNC. Il template di AlN su silicio è un modo economico per sostituire il substrato di cristallo singolo di AlN.

Specifiche tecniche

  • Area utile: 90%
  • Spessore nominale AlN: 200nm ±10%, film AlN rivestito su un lato e non drogato
  • Superficie frontale: <1nm RMS, as-grown
  • Superficie posteriore: silicio come ricevuto
  • Orientamento AlN: piano c (00.1)
  • Densità di macrodifetti: <1/cm^2
  • Base del wafer: Silicio [111] di tipo P, 10x10 x0,5 mm, un lato lucidato

 

 

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