Template AlN su zaffiro (0001) 4" x 0,5 mm, un lato lucidato, film AlN: 1000nm - FmAlNonALc101D05C1FT1000US

Il Template AlN su zaffiro è realizzato da una metodo basato sulla deposizione di vapore al plasma di nano-colonne (PVDNC). Il template AlN è un modo economico per sostituire il substrato di cristallo singolo AlN.

Specifiche tecniche

• Dimensioni 4" Rotondo 
•  Dimensioni: 100 mm +/- 2 mm
•  Substrato Zaffiro Orientamento: asse c (00.1) +/- 0.3deg.
• Tipo e drogaggio: Non drogato, semi-isolante
• Densità dei macrodifetti: <=5 cm^-2
• Front Surface Finish (Al Face):  As-grown
• Back Surface Finish Sapphire as-received finish
•  Useable Surface Area >90% 
•  Area di esclusione dei bordi 1 mm
•   Pacchetto Contenitore per singolo wafer
• AlSpessore strato N 1000 nm , (¡À 10%)

•   AlN SCHEDA DI SICUREZZA

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