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Template AlN su zaffiro (0001) 2 "x 0,5mm, un lato lucidato, film AlN: 5000nm - FmAlNonALc50D05C1FT5000US5

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Template AlN su zaffiro (0001) 2 "x 0,5mm, un lato lucidato, film AlN: 5000nm - FmAlNonALc50D05C1FT5000US5

MTI

La sagoma AlN su zaffiro è realizzata da un metodo basato sulla deposizione di vapore al plasma di nano-colonne (PVDNC).  Il template di AlN è un modo economico per sostituire il substrato di cristallo singolo di AlN.

Specifiche tecniche

  • Dimensioni 2" rotondo 
  •  Dimensioni: 50 mm +/- 2 mm
  •  Substrato Zaffiro Orientamento: asse c (0001) +/- 1,0deg.
  • Tipo e drogaggio: Non drogato, semi-isolante
  • Densità dei macrodifetti: <5 cm-2
  • Front Surface Finish (Al Face): As-grown
  • Back Surface Finish Sapphire as-received finish
  •  Useable Surface Area >90% 
  •  Area di esclusione dei bordi 1 mm
  •   Pacchetto Contenitore per singolo wafer
  • AlSpessore dello strato N  5000 nm  , (¡À 10%) 

 

 

 

 Dati correlati

Per i dati di Surface Rughness e XRD, fare clic qui.

 

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