MTI  |  SKU: FmSi3N4onSiBa100D0525C1FT100

Film di nitruro di silicio da 100 nm (PE-CVD) su Si(100) di tipo P, drogato B, diametro 100 mm x 0,525 mm, spessore 1sp, R: 0,001-0,005 ohm.cm - FmSi3N4onSiBa100D0525C1FT100

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Film di nitruro di silicio da 100 nm (PE-CVD) su Si(100) di tipo P, drogato B, diametro 100 mm x 0,525 mm, spessore 1sp, R: 0,001-0,005 ohm.cm - FmSi3N4onSiBa100D0525C1FT100

MTI

Film di nitruro di silicio

  • Film di Si3N4 rivestito con metodo PE-CVD a bassa sollecitazione
  • Si3N4 Spessore: 100nm  +/- 8%
  • Si3N4 coperture lato anteriore lucido del wafer di silicio SOLO
  • Indice di rifrazione di Si3N3: 1,98 +/-0,05 @ 632,8nm

Specifiche del wafer di silicio:


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