Deposizione chimica in fase di vapore potenziata con plasma ad alto vuoto (tipo CCP) - VTC-PECVD

• Monofase 208 - 240 VAC 50 / 60 Hz
• 4000 W 

• Una sorgente di alimentazione RF da 300 W, frequenza 13,56 MHz con accoppiamento automatico.

         

Crescita PECVD

• Soffione a doppio strato da 100 mm di diametro con sorgente RF per wafer da 4".
  

• Due regolatori di flusso di massa (MFC) di precisione per due tipi di gas di lavoro
• Portata: 0 - 100 mL/min regolabile sul pannello di controllo touch screen
• Le valvole a farfalla motorizzate consentono una pressione di deposito stabile da 0,1 torr a 1 torr
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Camera del vuoto

• Realizzata in acciaio inox 304
• Dimensioni: Dia 300 mm × 300 m H
• Vuoto finale: 6E-7 torr
• Tempo di pompaggio: <6E-6 torr dopo 40 minuti di pompaggio con turbopompa
• Tasso di perdita: 3,8E-9 torr L/s
• Porta di osservazione: Vetro Ø 100 mm
• Sportello di blocco del carico per un rapido caricamento e prelievo dei campioni. 

Pompa a vuoto

• Pompa turbo: pompa turbo Pfeiffer da 700 L/s 
• Pompa di supporto: 240 L/min (4L/s) pompa a palette rotoray

Stadio campione

• Il supporto del campione è uno stadio ruotabile e riscaldabile costituito da un riscaldatore in ceramica con copertura in rame.
• Dimensioni del portacampioni: 100 mm Dia. per. 4" wafer max
• Velocità di rotazione: 1 - 20 rpm regolabile per un rivestimento uniforme
• La temperatura del supporto è controllata da PID da RT a 500 °C max con un'accuratezza di +/- 1,0 °C 
• Distanza: 15 - 65 mm tra lo stadio del campione e la testa del plasma

• Un sistema digitale di controllo della temperatura a ricircolo d'acqua è incluso. (Fare clic sull'immagine per vedere i dettagli)
• Intervallo di refrigerazione: 5~35 °C
• Portata: 16 L/min
• Pressione della pompa: 14 psi

• Il sistema di miscelazione ed erogazione del gas a 2-9 canali è disponibile come opzione (Fig. 1).
• Il dispositivo di erogazione del gas di scarico è disponibile su richiesta (Fig. 2&3).
• È disponibile un software programmabile per ricette personalizzate in base al progetto del cliente.
•  Figura 1Figura 2 2Figura 3

Peso netto della spalmatrice

• 160 kg

Dimensioni

Conformità

• Approvazione CE
• La certificazione NRTL (UL 1450) è disponibile su richiesta e con un costo aggiuntivo.  

Garanzia

• Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita

Video dimostrativo del funzionamento