MTI  |  SKU: OTF-1200X-III-HPCVD-S3

Forno tubolare HPCVD a tre zone da 5" D a 1200 C con sistema di alimentazione della sorgente sequenziale e di co-deposizione fino a 3 crogioli - OTF-1200X-III-HPCVD-S3

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Forno tubolare HPCVD a tre zone da 5" D a 1200 C con sistema di alimentazione della sorgente sequenziale e di co-deposizione fino a 3 crogioli - OTF-1200X-III-HPCVD-S3

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OTF-1200X-III-HPCVD-S3 è un forno ibrido PVD e CVD (HPCVD) per la preparazione di materiali 2D multistrato. Il sistema è composto da un tubo diviso in tre zone a tre zone con l'esclusivo Sistema di alimentazione alla fonte che può guidare il crogiolo in un tubo di lavorazione alla temperatura di evaporazione desiderata. Il forno a tre zone a tubi divisi può raggiungere un riscaldamento rapido fino a 1200°C e creare un gradiente termico diverso impostando temperature diverse per ciascuna zona. Il sistema di alimentazione delle sorgenti può spingere e tirare uno o tre crogioli con materiale di evaporazione attraverso il forno a tubi da 5" D controllato dall'atmosfera e in sequenza. fino a 3 crogioli (o co-evaporazione di 3 crogioli alla volta) come programmato. Si tratta di una soluzione ideale per condurre esperimenti HPCVD, soprattutto per la preparazione di materiali cristallini 2D multistrato. Il touchscreen PLC integrato consente agli utenti di gestire il metodo di alimentazione e di monitorare la temperatura di ciascuna sorgente. Tre regolatori di temperatura PID programmabili forniscono un controllo eccellente, senza sovratemperatura. 

SPECIFICHE:
Struttura del forno
  • Dotato di un esclusivo sistema di alimentazione della sorgente a triplo canale che aziona 1 o 3 crogioli con materiale di evaporazione attraverso il tubo controllato dal vuoto o dall'atmosfera, adatto per la crescita CVD-fisica ibrida di stack di film multistrato. come programmato.
  • Tre regolatori di temperatura indipendenti per controllare la temperatura di ciascuna zona.
  • L'involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria mantiene la temperatura superficiale del forno inferiore a 60°C.  
  • Isolamento in allumina fibrosa di elevata purezza per il massimo risparmio energetico.
  • Lo speciale rivestimento refrattario sul liner e sull'elemento riscaldante contribuisce ad aumentare la durata del forno.
  • Coperchio diviso con Protezione interblocco, interrompe l'alimentazione se la porta si apre durante il processo di riscaldamento del forno.
        
Requisiti di potenza
  • Monofase 208~240VAC, 50/60Hz, 10KW (è richiesto un interruttore automatico da 70Amp)
Lunghezza della zona di riscaldamento
  • Tre zone: ogni zona ha una lunghezza di 11.8" (300 mm)
Intervallo di temperatura 100~1100°C (continua); 1200°C (<1 ora) 
Velocità di riscaldamento max. Velocità di riscaldamento ? 10°C /min
Regolatori di temperatura
       
  • Tre regolatori digitali con 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, della velocità di raffreddamento e del tempo di permanenza.  fer il funzionamento senza operatore.
  • Precisione di temperatura +/- 1ºC.
  • Due termocoppie di tipo K (una per ogni zona).
  • Porta di comunicazione RS485.
  • Opzionale:  
    • Il forno può essere gestito da un PC con una porta di comunicazione MTS02-Y Pacchetto software di controllo della temperatura (include 2 chip di comunicazione e un laptop da 15"). 
    • I controllori Eurotherm 3000 sono disponibili con una precisione di +/- 0,1ºC a un costo aggiuntivo.  
Sistema di alimentazione sequenziale delle sorgenti
  • Tre termocoppie sono collegate a tre piccoli sensori al quarzo. dalla flangia sinistra. Il motore passo-passo aziona il tubo che attraversa il tubo grande insieme alla termocoppia per il monitoraggio della temperatura in tempo reale.
  • Tre crogioli possono essere collocati simultaneamente nel sistema di alimentazione della sorgente e consegnati da 1 a 3 crogioli nelle zone calde per l'evaporazione e la deposizione in atmosfera controllata. 
  • Ogni canale di alimentazione è dotato di ingresso e controllo del flusso di gas indipendente.
  • Dimensione del crogiolo sorgente: 18mm x 18mm
  •     Immagine.1        Pic..2
Esempio di controllo del movimento del crogiolo
  • La velocità e la distanza del crogiolo sono controllate dal volantino.
  • Distanza di spostamento del crogiolo: 300 mm.
  • Dimensioni del crogiolo: 80 mm x 32 mm x 13 mm (fig.1)
  • Dimensioni del deflettore del crogiolo scorrevole: 20 mm x 20 mm (fig.1)
  • Dimensione del campione consigliata: 20mm x 20mm
  •      immagine.1    immagine 2       Pic. 3
Regolatori di temperatura
  • 3 regolatori digitali Eurotherm omologati UL con precisione di ±1°C controllo della velocità di riscaldamento, della velocità di raffreddamento e del tempo di permanenza.
Elemento di riscaldamento Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo
Accessori per tubi
  • Uno tubo di quarzo fuso (130 mm O.D. x 122 mm I.D. x 1200mm L) è incluso.
  • Tre tubi di quarzo fuso (25 mm O.D. x 21 mm I.D. x 1200mm L) è incluso.
Pompa per vuoto
Sistema di controllo del flusso di gas
Dimensioni

 4000 mm (L) x 600 mm (L) x 1500 mm (H)
Garanzia Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita. (Le parti di consumo, come i tubi di lavorazione e gli o-ring, non sono coperte dalla garanzia; si prega di trovare le parti di ricambio nei prodotti correlati qui sotto).
Conformità
  • Certificazione CE
  • La certificazione NRTLo CSA è disponibile a pagamento.
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Video sul funzionamento

                                      Dimostrazione delle funzioni                                  Installazione Video
                                                                     
Come funziona il forno Video sul funzionamento del controller Come creare un gradiente di temperatura
       

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