MTI  |  SKU: OTF-1200X-S1-MPECVD

1200C max. Forno CVD potenziato al plasma a microonde (MPECVD) con tubo al quarzo da 1'-2'' - OTF-1200X-S-MPECVD

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1200C max. Forno CVD potenziato al plasma a microonde (MPECVD) con tubo al quarzo da 1'-2'' - OTF-1200X-S-MPECVD

MTI

OTF-1200X-S-MPECVD è un forno a singolo zona del forno a tubo CVD potenziato con plasma a microonde. Il sistema è composto da un generatore di plasma a microonde da 600W, forno per tubi al quarzo da 1" o 2" O.D. e un misuratore di vuoto digitale anticorrosivo. Il plasma a microonde ha mostrato potenzialità e possibilità per il trattamento CVD a bassa temperatura, fornendo un altro metodo per il rivestimento di nanoparticelle e la crescita di nanotubi in modo efficiente. 

Applicazioni e vantaggi adatti:
- Higliori gradi di ionizzazione e dissociazione aiutano a ridurre l'energia di attivazione e a migliorare la cinetica di innesco di una reazione chimica.
- Viene comunemente utilizzato per la crescita conformale di nanotubi di carbonio (CNT), di carbonio conduttivo o di film simili al dimond su substrati o particelle di supporto.
- Adatto alla lavorazione di dispositivi sensibili alle scariche elettriche statiche. Questo è il vantaggio di un campo elettrico più elevato frequenza e distanze di viaggio degli elettroni più brevi. 

Specifiche tecniche

  Forno a tubo diviso


 
  • Tensione di ingresso: 110/220 VCA, monofase. 50/60 Hz.
  • Potenza in ingresso: 1,2 kW.
  • Temperatura massima di lavoro: 1200 °C (< 60 min).
  • Temperatura di lavoro continua: 1100 °C.
  • Velocità massima di riscaldamento: 10 °C /min.
  • Regolatore di temperatura digitale di precisione programmabile a 30 segmenti.
  • Zona di riscaldamento da 200 mm (8").
  • Compatibile con tubi al quarzo da 1" o 2" di diametro esterno.
Regolatore di temperatura
  • Controllo proporzionale integrale derivato (PID).
  • Protezione integrata contro i guasti della temperatura e della termocoppia.
  • Porta di comunicazione D89 BC predefinita.
  • Precisione della temperatura: ±1 °C.
  • Elementi riscaldanti: Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo.
  • Porta di comunicazione RS485.
    • Controllo avanzato della temperatura (Opzionale)
    • Il kit software di controllo della temperatura MTS02-Y (per i controllori della serie YD518P) + pacchetto laptop da 15" è disponibile nella barra delle opzioni. Fare clic per informazioni dettagliate sul kit software MTS02-Y. 
    • È possibile aggiornare il termoregolatore alla versione Controllore di temperatura Eurotherm 3204 che è completamente compatibile con LabVIEW. Questo pacchetto comprende un programmatore Eurotherm 3204, un cavo di comunicazione (RS485 - USB) e un CD del software. Fare clic sull'immagine sottostante per visualizzare le specifiche complete del termoregolatore Eurotherm 3204.            
Dimensioni dei tubi opzionali
  • Tubo di quarzo da 1": 25 × 1000 mm (O.D. × L).
  • Tubo di quarzo da 2": 50 × 1000 mm (O.D. × L).
           Contattateci per altre dimensioni opzionali del tubo.
 Generatore di microonde
  • Tensione di ingresso: 110 VCA, monofase.
  • Potenza in ingresso: 600 W (Opzionale: i generatori di microonde da 1200W, 2100W e 3500W sono disponibili su richiesta, con costi aggiuntivi).
  • Frequenza: 2,45GHz
  • Tempo di lavoro continuo: 30 minuti.
  • Raffreddamento ad aria.
  • Dotato di uno schermo protettivo in alluminio e di una ventola CA per ridurre al minimo le perdite di microonde.
Sensore di pressione
Pompa del vuoto
  • Tensione di lavoro: 110 VAC/60 Hz o 220 VAC 50/60 Hz, monofase.
  • Potenza di lavoro: 375 W.
  • Pompa per vuoto rotativa a palette da 156 L/min.
  • Capacità di vuoto: 10 ^ -3 Torr.
Dimensioni del prodotto
  • Dimensioni del prodotto: 1200 × 500 × 600 mm.
  • Forno: 340 × 300 × 400 mm.
  • Generatore di microonde: 360 × 300 × 600 mm.
Garanzia 
 Garanzia limitata di un anno con supporto per il tempo di sollevamento (le parti di consumo come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi di riscaldamento non sono coperti dalla garanzia, si prega di ordinare la sostituzione ai prodotti correlati sotto).
Computer portatile e software (opzionale)
  • Computer portatile nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita) 
  • Sistema di controllo della temperatura basato su Labview (EQ-MTS01) consente all'utente di modificare il profilo di temperatura, gestire le ricette di trattamento termico, registrare e tracciare i dati per i forni MTI.
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Conformità

  • Certificazione CE
  • La certificazione NRTL è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.
             
Avvertenze

Clicca qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas
  • I forni tubolari con tubo al quarzo sono progettati per l'utilizzo sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 Mpa
  • Attenzione: È necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI per un funzionamento sicuro. Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas.
  • Le pressioni da vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C
  • MTI si riserva il diritto di modificare il design del PECVD in qualsiasi momento senza preavviso, ma promette che la qualità sarà conforme alle specifiche di cui sopra.
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