MTI | SKU: PF4P

Apparecchio di lucidatura da 4" con dima a vuoto per la diluizione e la lucidatura di precisione e automatica - EQ-PF-4-1P

Name: Apparecchio di lucidatura da 4" con dima a vuoto per la diluizione e la lucidatura di precisione e automatica - EQ-PF-4-1P
Brand: MTI
SKU: PF4P
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Apparecchio di lucidatura da 4" con dima a vuoto per la diluizione e la lucidatura di precisione e automatica - EQ-PF-4-1P

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Caratteristiche	Dima di lucidatura di precisione per un'accurata lucidatura di wafer/substrati e back-thinning Vite di controllo dello spessore con una risoluzione di 0,005 mm per limitare l'asportazione di materiale Questo dispositivo di lucidatura può essere utilizzato con Unipol 1202 e 1502 e con qualsiasi lucidatrice di precisione da 12" o più grande con supporto a giogo per ottenere una lucidatura o una lappatura automatica. La lega di tungsteno super-duro è saldata sul fondo della dima per resistere alla lucidatura Spessore massimo del campione: 13 mm Distanza massima di spostamento: 14 mm
Supporto del campione Mandrino a vuoto	La dimensione massima di un wafer o di un substrato è di 4" di diametro Se lo spessore del campione è superiore a 0,15 mm, adottare l'assorbimento sotto vuoto. Se lo spessore è inferiore a 0,15 mm, utilizzare la cera.
Micrometro digitale	È incluso un micrometro digitale con una risoluzione di +/- 1 micron per una lappatura più accurata.
Indicatore di pressione	È inclusa una bilancia digitale per la misurazione del peso del dispositivo (pressione). Il peso può essere regolato tramite viti durante la misurazione sulla bilancia digitale da 1g a 2000g.
Assorbimento del vuoto e filtro	Richiedono una pompa per vuoto con una portata > 70 L/ min. Per proteggere la pompa del vuoto da umidità e liquidi, collegare il filtro tra l'apparecchio e la pompa.
Note applicative	TQuesto dispositivo può anche lucidare wafer < 4" con il metodo del nastro blu Tagliare un nastro blu di 4 pollici di diametro, quindi incollare il wafer da 2,3 pollici o il substrato irregolare da < 4 pollici sul nastro. Poi mettere il nastro blu da 4" con il wafer per aspirare il pezzo.
Dimensione	O.D: 146 mm; altezza: 266 mm
Istruzioni operative
Note applicative	Fare clic qui per scaricare come utilizzare questo apparecchio. TQuesto apparecchio può anche lucidare wafer < 4" con il metodo del nastro blu Tagliare un nastro blu di 4 pollici di diametro, quindi incollare il wafer da 2,3 pollici o il substrato irregolare da < 4 pollici sul nastro. Poi mettere il nastro blu da 4" con il wafer per aspirare il pezzo.
Accessori opzionali	Per l'assorbimento del vuoto è necessaria una pompa per il vuoto, da ordinare separatamente.