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MTI  |  SKU: GSL3F-PTFE

Stazione di controllo di miscelazione del gas a tre canali anticorrosione realizzata con parti in PTFE - GSL-3F-PTFE

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Stazione di controllo di miscelazione del gas a tre canali anticorrosione realizzata con parti in PTFE - GSL-3F-PTFE

MTI

EQ-GSL-3F-PTFE è un sistema di miscelazione ed erogazione del gas a tre canali anticorrosione. Tutte le parti a contatto con il gas sono realizzate in PTFE (ad es. valvola, tubo, serbatoio di miscelazione e flussometro). È progettato per l'erogazione di gas corrosivi, come il solfuro di idrogeno (H2S) e il seleniuro di idrogeno (H2Se) per il processo CVD.

Specifiche tecniche

Misuratore galleggiante

Tre misuratori di portata galleggianti anti-corrosivi in materiale PTFE con portate di 10 - 1000 mL/min.
Valvole  Tre valvole a spillo in materiale PTFE regolano l'uscita del gas sul pannello anteriore
Serbatoio di miscelazione del gas
  •  Serbatoio del gas da 1000 mL in PTFE
  •  Il gas di ogni canale fluisce nel serbatoio per essere miscelato prima dell'uscita.
Raccordo del tubo

  • Raccordo in PTFE che accetta tubi da 1/4" (nylon o acciaio inox).


  • Tre raccordi di ingresso del gas (da serbatoi di gas) sono installati sul lato destro del carrello
  • I gas a due canali confluiscono in un contenitore di miscelazione del gas e in un canale indipendente dal gas (consultare il manuale per il disegno).
  • Due raccordi di uscita del gas (verso il forno a tubi) sono installati sul lato sinistro del carrello (uno per il gas di miscelazione e uno indipendente)
  • Sono inclusi 12' di tubo in PTFE da 1/4" per l'uso immediato.
Stazione mobile
  • Carrello mobile per impieghi gravosi con quattro ruote e freno, sul quale è possibile collocare il piccolo forno MTI

  • Dimensioni600 mm (L) x 600 mm (L) x 650 mm (H)
  • Peso netto: 160 libbre
  • Peso massimo di carico: 500 libbre
Spedizione
  • Dimensione di spedizione: 41 x 49 x 38 pollici
  • Peso di spedizione: 200 libbre

Garanzia
  • Due anni di garanzia limitata con assistenza a vita
Monitoraggio dell'ossigeno Un sensore di ossigeno può essere utilizzato per monitorare il livello di ossigeno dei gas utilizzati nei sistemi CVD per prevenire o ridurre l'ossidazione. Per saperne di più, fare clic sull'immagine sottostante:
Note applicative
  • Se il processo CVD prevede l'utilizzo di gas corrosivi, come l'H2S, si consiglia di utilizzare la flangia in PTFE sul forno a tubi.
  • Inoltre, scegliere la pompa del vuoto a secco anticorrosione invece di una pompa del vuoto a olio.
Istruzioni per il funzionamento  Manuale operativo

 

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