MTI  |  SKU: GZK-PID-103G-LD

Sistema di regolazione della pressione del vuoto di precisione con turbo e pompa di supporto (fino a 10^-6 Torr) - GZK-PID-103G-LD

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Sistema di regolazione della pressione del vuoto di precisione con turbo e pompa di supporto (fino a 10^-6 Torr) - GZK-PID-103G-LD

MTI

Il GZK-PID-103G-LD è un sistema di regolazione della pressione del vuoto altamente sensibile, compatto e controllato da PID. Il sistema è costituito da una pompa meccanica e da una pompa turbomolecolare, che consentono due diverse modalità di lavoro: 1) ottenere un ambiente ad alto vuoto mediante la turbopompa; 2) controllare l'uscita del flusso di gas mediante la pompa meccanica e il sistema PID per mantenere la pressione a un livello costante. Il sistema è dotato di un trasduttore di pressione per un monitoraggio preciso della pressione. Il sistema è compatibile con i forni MTI per ottenere condizioni di pressione ideali per i processi PVD, CVD, PECVD e HPCVD. Questo sistema è stato ampiamente utilizzato per applicazioni quali la diffusione, l'ossidazione, l'espitassia, la CVD, lo sputtering al plasma, il rivestimento e la fusione di fibre ottiche.

Specifiche tecniche

  Potenza richiesta
  • 208 ~ 240 VCA, monofase, 50 ~ 60 Hz.
  • Potenza in ingresso: 1,2 kW.
  Sistema di pompa del vuoto Pompa meccanica
  • Capacità di pompaggio: 400 litri al minuto.
  • Temperatura ambiente: 5 ~ 40 °C (40 ~ 105 F).
  • Livello di rumorosità: 58 dB.
Pompa turbomolecolare
  • Capacità di pompaggio: 6600 litri al minuto.
  • Pressione finale: 4,5 × 10^-3 mTorr.
  • Pressione di avvio: 750 mTorr.
  • Velocità di rotazione: 42300 giri/min.
Le pompe sono collegate tramite porta KF-40.
  Sistema di monitoraggio della pressione
  • Manometro a membrana con capacità anticorrosiva (EQ-PGC-554-LD). 
  • Intervallo di pressione: 3,8 × 10^-5 ~ 1125 Torr.
            
  Sistema di controllo della pressione
   
    		 Sensibilità di controllo della pressione (argon come gas di ingresso):
  • 760 mTorr (100 Pa) ~ 225 Torr (30000 Pa) con 500 sccm di gas argon;
  • 600 mTorr (80 Pa) ~ 200 Torr (26660 Pa) con 300 sccm di gas argon;
  • 300 mTorr (40 Pa) ~ 185 Torr (24660 Pa) con 100 sccm di gas argon;
  • 180 mTorr (24 Pa) ~ 100 Torr (13333 Pa) con 50 sccm di gas argon.
Precisione di controllo della pressione:
  • 180 mTorr ~ 2,5 Torr (<±5% della lettura);
  • 2,5 Torr ~ 10 Torr (<±4% della lettura);
  • 10 Torr ~ 200 Torr (<±2% della lettura);
  Dimensioni del prodotto
  • 600 × 745 × 700 mm (L × W × H).
  Peso 
  • ~80 kg (175 libbre).
  Garanzia
  • Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita.
  Applicazioni
  Istruzioni per l'uso            
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