Film di alluminio su wafer di silicio, 3 micron / 4" -- Al-Si-100-3um, Si(100) tipo P drogato B R: 1-20 ohm.cm
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Film di alluminio su wafer di silicio, 3 micron / 4" -- Al-Si-100-3um, Si(100) tipo P drogato B R: 1-20 ohm.cm
MTI
Film metallico di alluminio
- Film rivestito mediante evaporazione a fascio elettronico sotto vuoto inferiore a 10-6 torr
- Velocità di evaporazione: 0,2 nanometri al secondo
- Spessore dell'alluminio: 3 micron
- Resistività del film: 2,65 micro-ohm-cm
- Cristallinità del film: Policristalli deboli (111) - orientati
- Rugosità, RMS: 4,87 nm e < 10 nm
Specifiche del wafer di silicio:
- Tipo conduttivo: Si tipo P, drogato B
- Resistività: 1- 20 ohm-cm
- Dimensioni: 4" di diametro +/- 0,5 mm x 0,525 +/- 0,025 mm di spessore
- Orientamento: (100) +/- 0,5o
- Lucidatura: Un lato lucidato
- Rugosità della superficie: Prime
- Imballaggio: Confezionato sottovuoto su un supporto per wafer singolo da 4 pollici
- Opzionale: potrebbe essere necessario uno strumento per maneggiare il wafer (fare clic sull'immagine per ordinare).
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